真空泵

深圳銳誠真空技術(shù)有限公司座落于廣東深圳，在北京、浙江設(shè)有售后辦事處。環(huán)境溫度：真空泵一般在不低于5℃的室溫及不高于90%的相對溫度的環(huán)境內(nèi)使用。是一家專門從事各種真空應(yīng)用設(shè)備制造，集研發(fā)、生產(chǎn)和銷售于一體的民營高科技企業(yè)。主營產(chǎn)品：真空設(shè)備，檢漏儀，微水儀，lng抽真空系統(tǒng)，非標(biāo)真空設(shè)備，真空標(biāo)準(zhǔn)件以及真空設(shè)備的維護保養(yǎng)。

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特點(1)在較寬的壓力范圍內(nèi)有較大的抽速；(2)轉(zhuǎn)子具有良好的幾何對稱性，故振動小，運轉(zhuǎn)平穩(wěn)。轉(zhuǎn)子間及轉(zhuǎn)子和殼體間均有間隙，不用潤滑，摩擦損失小，可大大降低驅(qū)動功率，從而可實現(xiàn)較高轉(zhuǎn)速；(3)泵腔內(nèi)無需用油密封和潤滑，可減少油蒸氣對真空系統(tǒng)的污染；(4)泵腔內(nèi)無壓縮，無排氣閥。這種多級設(shè)計使得氣體通路相當(dāng)復(fù)雜，并且每一級都需要較大流量的氮氣起到稀釋和隔離作用。結(jié)構(gòu)簡單、緊湊，對被抽氣體中的灰塵和水蒸汽不敏感；(5)壓縮比較低，對氫氣抽氣效果差；(6)轉(zhuǎn)子表面為形狀較為復(fù)雜的曲線柱面，加工和檢查比較困難。

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深圳銳誠真空技術(shù)有限公司座落于廣東深圳，在北京、浙江設(shè)有售后辦事處。⑶真空泵與系統(tǒng)的連接管道應(yīng)密封可靠，對小真空泵可采用金屬管路連接密封墊采用耐油橡膠，對小真空泵可采用真空膠管連接，管道管徑不得小于真空泵吸氣口徑，且要求管路短而少彎頭。是一家專門從事各種真空應(yīng)用設(shè)備制造，集研發(fā)、生產(chǎn)和銷售于一體的民營高科技企業(yè)。主營產(chǎn)品：真空設(shè)備，檢漏儀，微水儀，lng抽真空系統(tǒng)，非標(biāo)真空設(shè)備，真空標(biāo)準(zhǔn)件以及真空設(shè)備的維護保養(yǎng)。

真空泵的作用就是從真空室中抽除氣體分子，降低真空室內(nèi)的氣體壓力，使之達到要求的真空度。概括地講從大氣到極高真空有一個很大的范圍，至今為止還沒有一種真空系統(tǒng)能覆蓋這個范圍。真空系統(tǒng)常用名稱①主泵：在真空系統(tǒng)中，用于獲得所需要真空度來滿足特定工藝要求的真空泵，如真空鍍膜機中的油擴散泵就是主泵。因此，為達到不同產(chǎn)品的工藝指標(biāo)、工作效率和設(shè)備工作壽命要求、不同的真空區(qū)段需要選擇不同的真空系統(tǒng)配置。為達到j(luò)ia配置，選擇真空系統(tǒng)時，應(yīng)考慮下述各點：首先必須檢查確定每一種工藝要求的真空度。因為每一種工藝都有其適應(yīng)的真空度范圍，必須認真研究確定之。在確定了工藝要求的真空度的基礎(chǔ)上檢查真空泵系統(tǒng)的極限真空度，因為系統(tǒng)的極限真空度決定了系統(tǒng)的jia工作真空度。一般來講，系統(tǒng)的極限真空度比系統(tǒng)的工作真空度低20%，比前級泵的極限真空度低50%。檢查確定工藝要求的抽氣種類與抽氣量。因為如果被抽氣體種類與泵內(nèi)液體發(fā)生反應(yīng)，泵系統(tǒng)將被污染。同時必須考慮確定合適的排氣時間與抽氣過程中產(chǎn)生的氣體量。

真空設(shè)備檢漏

深圳銳誠真空技術(shù)有限公司座落于廣東深圳，在北京、浙江設(shè)有售后辦事處。雖然這種設(shè)計由于減少了內(nèi)部的壓縮比而使得其耗電量相對較高，但在很多復(fù)雜的半導(dǎo)體工藝中表現(xiàn)出極高的穩(wěn)定性。是一家專門從事各種真空應(yīng)用設(shè)備制造，集研發(fā)、生產(chǎn)和銷售于一體的民營高科技企業(yè)。主營產(chǎn)品：真空設(shè)備，檢漏儀，微水儀，lng抽真空系統(tǒng)，非標(biāo)真空設(shè)備，真空標(biāo)準(zhǔn)件以及真空設(shè)備的維護保養(yǎng)。

氦氣質(zhì)譜分析儀：該方法就是在負壓法的基礎(chǔ)上，采用質(zhì)譜儀來進行檢漏，其連接方式有多種，根據(jù)實際的使用，對為通用和檢漏本Di的方式進行說明，該方法可以對漏點進行位置的確定和泄漏量的判斷。

其工作原理為:開始主要由真空系統(tǒng)對腔體進行抽真空，當(dāng)真空度達到檢漏儀起測點后，開啟檢漏儀，檢漏儀本身也是一組由小型分子泵和機械泵組成的真空系統(tǒng)，其開啟后也參與腔體的抽氣工作，此時，檢測人員，就可以采用氦氣對腔體中所有接口及焊縫進行吹氣，如果有漏點存在，當(dāng)氦氣經(jīng)過此位置時，就會有少量的氦氣隨同空氣進入腔體，再由真空管路抽走，此時，會有少量的氦氣進入檢漏儀中，檢漏儀內(nèi)部的氦氣質(zhì)譜儀，就會檢測到氦氣的存在，通過報警器發(fā)出報警，提示檢測人員在此位置附近存在泄漏點。動、靜渦旋盤相對運動形成容積不斷變化的新月形真空腔使氣從抽氣口吸入、排氣口排出、完成排氣循環(huán)。由于，氦氣的密度小，在大氣中其會向上飄散，故此，在吹氣檢測時，應(yīng)從設(shè)備上部開始吹氣，以便漏點的位置確定。在進行雙層夾套的檢漏時，可以將夾套作為獨立的腔體進行單獨抽真空檢漏，實現(xiàn)對內(nèi)外壁的一次性檢測。由于目前檢漏儀技術(shù)足以做到使真空系統(tǒng)的漏氣量遠小于系統(tǒng)的放氣量，因此真空系統(tǒng)所需要的真空泵的大小主要取決于真空系統(tǒng)所使用的材料放氣率的大小。所以，針對不同類型的內(nèi)膽材料需要真空泵的抽速也會不盡相同。

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