氦檢漏設(shè)備簡介

中文名:真空檢漏

拼音:zhenkong jianlou

英文名:vacuum leak detection

真空系統(tǒng)、容器或器件的器壁因材料本身缺陷或焊縫、機械連接處存在孔洞、裂紋或間隙等缺陷，外部大氣通過這些缺陷進入系統(tǒng)內(nèi)部，致使系統(tǒng)、容器或器件達不到預(yù)期的真空度，這種現(xiàn)象稱為漏氣。造成漏氣的缺陷稱為漏孔。漏孔尺寸微小、形狀復(fù)雜，無法用幾何尺寸表示，因此在真空技術(shù)中用漏率來表示漏孔的大小。漏率是指單位時間內(nèi)漏入系統(tǒng)的氣體量，其單位為帕·米3/秒(Pa·m3/sec)或托·升/秒(Torr·L/sec)。

1Pa·m3/sec=7.5(Torr·L/sec)

真空檢漏技術(shù)就是用適當?shù)姆椒ㄅ袛嗾婵障到y(tǒng)、容器或器件是否漏氣、確定漏孔位置及漏率大小的一門技術(shù)，相應(yīng)的儀器稱為檢漏儀。在真空系統(tǒng)、容器、器件制造過程中借助真空檢漏技術(shù)確定它們的真空氣密性、探查漏孔的位置，以便采取措施將漏孔封閉從而使系統(tǒng)、容器、器件中的真空狀態(tài)得以維持。

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氦質(zhì)譜檢漏法的應(yīng)用領(lǐng)域

氦質(zhì)譜檢漏法由于其高的靈敏度、方法的多樣性、對各種試件的適應(yīng)性以及無破壞性，使其廣泛應(yīng)用。主要領(lǐng)域和產(chǎn)品如下：

原子能工業(yè)——氣體擴散處理系統(tǒng)、容器；

高能物理研究院——及其配件；

電力工業(yè)——高壓開關(guān)、避雷器、發(fā)電廠冷凝器系統(tǒng)；

電力工業(yè)——電子器件、半導體、傳感器和積成電路；

航空航天——燃料箱、油箱、及各種電機等；

儀表制造——壓力傳感器、閥門、波紋管和密封焊接件等；

空調(diào)制冷工業(yè)——壓縮機、冷凝器、蒸發(fā)器及閥門等；

真空科學與工業(yè)——泵、閥門、真空規(guī)管以及鍍膜機、真空爐等真空系統(tǒng)；

冶金——真空電爐；

低溫與壓力容器——液氮和液氦儲存罐、生物制品容器及各類壓力容器；

輕工產(chǎn)品——保溫杯、太陽能集熱管、飲料罐口等。

這些部門的產(chǎn)品要求一定的密封性，其中，有的產(chǎn)品的泄漏會危害產(chǎn)品或工作過程，還有些產(chǎn)品泄漏會造成物質(zhì)的流失，嚴重的會危害操作人員的生命健康。

安徽諾益科技有限公司是一家專業(yè)從事氦質(zhì)譜檢漏儀、氦檢漏真空箱、回收系統(tǒng)和差壓氣密性檢漏儀的研發(fā)、生產(chǎn)及銷售為一體的專業(yè)型高科技創(chuàng)新型企業(yè)。公司自成立以來，以“積極樂觀、勇于擔當、不輕然諾，精益求精”的企業(yè)精神，一步一個腳印發(fā)展成為中國同類企業(yè)中經(jīng)營范圍廣、在行業(yè)內(nèi)頗具影響力的企業(yè)。

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氦質(zhì)譜檢漏儀的日常保養(yǎng)與維護

以下是深圳銳誠真空為您一起分享的內(nèi)容，深圳銳誠真空專業(yè)生產(chǎn)氦檢漏設(shè)備，歡迎新老客戶蒞臨。

質(zhì)譜檢漏儀因具備檢測靈敏度高、反應(yīng)速度快、定位定量準確等優(yōu)點而被廣泛應(yīng)用，但是在長時間的使用過程中常常會出現(xiàn)一些故障和現(xiàn)象，從而影響設(shè)備的正常使用。

檢漏儀的故障和處理

1 內(nèi)部的泄漏

當檢漏儀內(nèi)部存在泄漏時，會對檢漏工作造成較大干擾，容易造成誤檢、誤判。各零部件接口處的密封部位。如放大器與質(zhì)譜室、離子源與質(zhì)譜室、分子泵與質(zhì)譜室、標準漏孔與閥門組件、真空計與閥門組件等接口間的橡膠圈密封。采用噴氦法尋找漏點，更換密封件。

2 本底信號不穩(wěn)定

1）本底信號過高有可能是環(huán)境本底被污染，注意檢查室內(nèi)是否有氦氣源在泄漏。將室內(nèi)的門窗打開通風，降低環(huán)境本底。

2）本底信號過高也有可能是因為質(zhì)譜室被污染。檢漏儀若經(jīng)常檢測含有油污、粉塵等雜質(zhì)較多的被檢件時，質(zhì)譜室極易被污染，需返廠進行清洗，本底信號不穩(wěn)定，檢查電源電壓是否穩(wěn)定，檢漏儀應(yīng)有可靠的接地。

3）本底信號不穩(wěn)定，檢查泵油是否渾濁，被污染。

3 設(shè)備的分子泵不啟動

分子泵不啟動，主要有檢查供電和前級真空是否正常（較常見的是前級真空機械泵故障或沒有打開造成的分子泵無法啟動）?；蛘呤欠肿颖帽旧硪蛘駝雍头蹓m污染造成的損壞。

4 設(shè)備的質(zhì)譜室不能正常工作

質(zhì)譜室主要是燈絲無法正常加電，在確認機械泵、分子泵處于正常工作狀態(tài)后，若燈絲仍無法發(fā)射離子流，則需要更換離子源。

5 前級機械泵工作不正常

主要經(jīng)常觀察泵油的顏色是否正常，粉塵的污染會使油色變黑，水汽會使油色呈現(xiàn)乳白色，都將導致機械泵工作不正常。另外過低的溫度會使機械泵油粘稠度增加無法啟動，過高的溫度也會使機械泵產(chǎn)生熱保停止工作，使用機械泵的環(huán)境溫度在 10至 40之間使用。

質(zhì)譜法基本原理

質(zhì)譜,又稱質(zhì)譜法（mass spectrometry,MS），是通過不同的離子化方式，將試樣（原子或分子）轉(zhuǎn)化為運動的氣態(tài)離子，并按照質(zhì)荷比（m/z）大小進行分離檢測的分析方法，是一種與光譜并列的譜學方法。根據(jù)質(zhì)譜圖上峰的位置和相對強度大小，質(zhì)譜可對無機物、有機物和生物大分子進行定性和定量分析。Thomson JJ于1906年發(fā)明質(zhì)譜，并運用于發(fā)現(xiàn)非性同位素和無機元素分析。20世紀40年代以后開始用于有機物分析。Thomson JJ于1906年發(fā)明質(zhì)譜，并運用于發(fā)現(xiàn)非性同位素和無機元素分析。20世紀40年代以后開始用于有機物分析。80年代初期，快原子轟擊電離的應(yīng)用，是質(zhì)譜更好的運用于生物化學大分子。90年代以來，隨著電噴霧電離和基質(zhì)輔助激光解吸電離的應(yīng)用，已形成生物質(zhì)譜學一新學科[1]。目前，質(zhì)譜法已經(jīng)日益廣泛的應(yīng)用于原子能、化學、電子、冶金、、食品、陶瓷等工業(yè)生產(chǎn)部門，農(nóng)業(yè)科學研究部門，以及物理、電子與離子物理、同位素地質(zhì)學、有機化學等科學技術(shù)領(lǐng)域[2]。

質(zhì)譜法的基本原理是試樣分子或原子在離子源中發(fā)生電離，生成各種類型帶電粒子或離子，經(jīng)加速電場的作用獲得動能形成離子束；進入質(zhì)量分析儀，在其中再利用帶電粒子在電場或磁場中運動軌跡的差異，將不同質(zhì)荷比的離子按空間位置或時間的不同而分離開；然后到達離子將離子流轉(zhuǎn)變?yōu)殡娦盘?，得到質(zhì)譜圖。

質(zhì)譜儀基本結(jié)構(gòu)，化合物的質(zhì)譜是由質(zhì)譜儀測得的。質(zhì)譜儀是使分析試樣離子化并按質(zhì)荷比大小進行分離、檢測和記錄的儀器。一般質(zhì)譜儀由進樣系統(tǒng)，離子源，質(zhì)量分析儀，離子及信號放大記錄系統(tǒng)組成

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