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超純水(Ultrapure water)又稱(chēng)UP水,是指電阻率達(dá)到18 MΩ*cm(25℃)的水。(3)單晶硅、半導(dǎo)體晶片切割制造、半導(dǎo)體芯片、半導(dǎo)體封裝、引線(xiàn)柜架、集成電路、液晶顯示器、導(dǎo)電玻璃、顯像管、線(xiàn)路板、光通信、電腦元件、電容器潔凈產(chǎn)品及各種元器件等生產(chǎn)工藝。這種水中除了水分子外,幾乎沒(méi)有什么雜質(zhì),更沒(méi)有細(xì)菌、病毒、含氯二噁i英等有機(jī)物,當(dāng)然也沒(méi)有人體所需的礦物質(zhì)微量元素,也就是幾乎去除氧和氫以外所有原子的水??梢杂糜诔儾牧希ò雽?dǎo)體原件材料、納米精細(xì)陶瓷材料等)應(yīng)用蒸餾、去離子化、反滲透技術(shù)或其它適當(dāng)?shù)某R界精細(xì)技術(shù)的制備過(guò)程。
超純水設(shè)備的主要特點(diǎn):
1.產(chǎn)水水質(zhì)高而具有較佳的穩(wěn)定度高
2.連續(xù)不間斷制水,不因再生而停機(jī)。
3.模塊化生產(chǎn),并可實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)控制。
4.不須酸堿再生,無(wú)污水排放。
5.無(wú)酸堿再生設(shè)備和化學(xué)藥品儲(chǔ)運(yùn)。
6.設(shè)備結(jié)構(gòu)緊湊,占地面積小。
7.運(yùn)行費(fèi)用及維修成本低。
8.運(yùn)行操作簡(jiǎn)單,勞動(dòng)強(qiáng)度低
超純水設(shè)備基本參數(shù)
1、給水:RO純水,一般水的電導(dǎo)率為4-30us/cm。
2、PH:5.0-8.0(在此PH條件下,水硬度不能太高)
3、溫度:5-35℃
4、進(jìn)水壓力:較大為4kg/cm2(60psi),較小為1.5kg/cm2(25psi)。
當(dāng)活性碳過(guò)濾器因截留過(guò)量的機(jī)械雜質(zhì)而影響其正常工作,則可用反沖洗的方法來(lái)進(jìn)行清洗。實(shí)驗(yàn)室超純水機(jī)大致分為預(yù)處理、反滲透、超純化、終端超濾四個(gè)單元。利用逆向進(jìn)水,使過(guò)濾器內(nèi)砂濾層松動(dòng),可使粘附于濾料表面的截留物剝離并被反沖水流帶走,有利于排除濾層中的沉渣、懸浮物等,并防止濾料板結(jié),使其充分恢復(fù)截污、從而達(dá)到清洗的目的。反洗以進(jìn)出口壓差參數(shù)設(shè)置來(lái)控制反沖洗周期,一般為三至四天,具體須視原水濁度而定。國(guó)活性炭罐的設(shè)計(jì)與石英砂基本相同。