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蘇州萊寶真空泵常用解決方案【方歐真空科技】

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發(fā)布時(shí)間:2020-12-18 19:30  






干泵:國(guó)外干泵市場(chǎng)的不斷增長(zhǎng),其主要驅(qū)動(dòng)來(lái)自于半導(dǎo)體行業(yè)、化學(xué)工業(yè)、薄膜產(chǎn)業(yè)的迅速發(fā)展。在日本,半導(dǎo)體行業(yè)已全部用干式真空泵代替油封式機(jī)械泵,歐美半導(dǎo)體行業(yè)45%以上用干式真空泵代替了油封式機(jī)械泵,大大提高了產(chǎn)品的性能和質(zhì)量。為了滿足不同應(yīng)用領(lǐng)域和不同工況的要求,國(guó)外有多級(jí)羅茨真空泵、多級(jí)爪式真空泵、螺桿式真空泵、渦旋式真空泵、往復(fù)式活塞真空泵以及渦輪式無(wú)油真空泵等。極限壓力從10Pa~10-2Pa,抽速?gòu)?0m3/h~500m3/h。



Leybold萊寶真空泵主要型號(hào)Leybold萊寶真空泵主要型號(hào):

SOGEVAC系列單級(jí)油封璇片真空泵:SV10 SV16 SV25 SV40 SV65 SV100 SV200 SV300 SV500 SV580 SV630 SV750 SV1200

TRLVAC C系列雙級(jí)油封璇片泵:D2 D4 D8 D9 D16 D25 D30 D40 D60 D65 D90

RUVAC系列羅茨泵:WA/WAU   150/151/250/251/500/501/1000/1001/2000/2001


德國(guó)Leybold萊寶真空泵性能參數(shù)德國(guó)Leybold萊寶真空泵性能參數(shù):

抽速:16m 3 /h---1400m 3 /h

極限真空度:SV16,SV25,SV40,SV65,SV100的極限真空度為<0.5 mbar (無(wú)氣鎮(zhèn)分壓強(qiáng))

<1.5 mbar (帶氣鎮(zhèn)分壓強(qiáng))

SV200,SV300,SV500,SV630,SV750,SV1200,SV1400的極限真空度為

<8*10 -2 mbar (無(wú)氣鎮(zhèn)分壓強(qiáng))

<7*10 -1 mbar (帶氣鎮(zhèn)分壓強(qiáng))

排水蒸氣能力:0.3--23公斤/小時(shí)







德國(guó)貝克(BECKER)真空泵類(lèi)型:

1.油潤(rùn)滑旋片式真空泵

U4.20~U4.630

抽速: 18~638m3/h

真空度:0.5~3mbar

2.無(wú)油旋片式真空泵

VT4.4~VT4.40

KVT3.60~KVT3.140

VTLF200~VTLF500

抽速: 4~40m3/h

55~129m3/h

178~498m3/h

真空度:100~250mbar

3.無(wú)油旋片式壓力/真空泵

T4.25DSK~T4.40DSK

DVT3.60~DVT3.140

抽速:25~137m3/h

真空泵壓力:--正負(fù)600mbar





蘇州方歐真空科技有限公司位于蘇州工業(yè)園區(qū),注冊(cè)資金500萬(wàn),服務(wù)網(wǎng)點(diǎn)遍布華南華東,主要從事真空泵生產(chǎn)銷(xiāo)售,真空泵維修保養(yǎng),并提供各式真空系統(tǒng)的技術(shù)解決方案、安裝調(diào)試、保養(yǎng)維修及現(xiàn)場(chǎng)服務(wù)。公司擁有一批專(zhuān)業(yè)的技術(shù)維修團(tuán)隊(duì),在維修方面擁有豐富的經(jīng)驗(yàn),設(shè)有維修工廠及檢測(cè)設(shè)備,為客戶提供24小時(shí)真空泵技術(shù)支持及售后服務(wù);

譜旭真空泵我們很多行業(yè)都在使用,它的類(lèi)型也有很多種,能適應(yīng)多種環(huán)境、多種場(chǎng)合、多種行業(yè)進(jìn)行使用。設(shè)備本身也是優(yōu)點(diǎn)眾多,很多人不了解它具體的特點(diǎn),其實(shí)一般歸納起來(lái)有以下6點(diǎn):

(1)在較寬的壓力范圍內(nèi)有較大的抽速;

(2)轉(zhuǎn)子具有良好的幾何對(duì)稱(chēng)性,故振動(dòng)小,運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn)。轉(zhuǎn)子間及轉(zhuǎn)子和殼體間均有間隙,不用潤(rùn)滑,摩擦損失小,可大大降低驅(qū)動(dòng)功率,從而可實(shí)現(xiàn)較高轉(zhuǎn)速;

(3)譜旭真空泵泵腔內(nèi)無(wú)需用油密封和潤(rùn)滑,可減少油蒸氣對(duì)真空系統(tǒng)的污染;

(4)譜旭真空泵泵腔內(nèi)無(wú)壓縮,無(wú)排氣閥。結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、緊湊,對(duì)被抽氣體中的灰塵和水蒸汽不敏感;

(5)譜旭真空泵壓縮比較低,對(duì)氫氣抽氣效果差;

(6)譜旭真空泵轉(zhuǎn)子表面為形狀較為復(fù)雜的曲線柱面,加工和檢查比較困難。





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