電子束原理介紹

其實，增速器離人們的生活并不遠。現(xiàn)代生活中已經(jīng)普及的電視、計算機顯示器所用的顯像管就是一臺小小的電子增速器。顯像管有玻璃密封外殼，內(nèi)部抽成真空。由一端的電子槍產(chǎn)生的電子束（強度受影像訊號控制）經(jīng)過聚焦線圈聚焦后在高壓電極的作用下加速向前運動。由一端的電子槍產(chǎn)生的電子束（強度受影像訊號控制）經(jīng)過聚焦線圈聚焦后在高壓電極的作用下加速向前運動。與此同時，電子束在偏轉(zhuǎn)電極的作用下，自上而下作水平方向的掃描。這樣，在顯像管另一端的熒光屏上就形成了明暗程度不同的亮點。

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電子束鍍膜機介紹

* 帶旋轉(zhuǎn)的傾斜沉積

* 行星式基片夾具

* 基片RF/DC偏壓

* 基片清洗的離子源以及離子輔助蒸鍍

* 附加物理沉積源（熱蒸鍍，磁控濺射）

* 用于反應(yīng)蒸鍍的MFC

* 不同的泵組選擇，可升級分子泵為冷泵，前級泵為干泵

* 進樣室和自動上下片/可支持單片和25片片夾

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