隨著超精密加工和微電子制造技術(shù)的迅速發(fā)展，對(duì)精密測量技術(shù)及儀器提出了在毫米級(jí)的測量范圍內(nèi)達(dá)到納米級(jí)精度的要求，例如超精密數(shù)控加工精度已達(dá)納米量級(jí)，微電子芯片制造技術(shù)已是納米級(jí)制造工藝，因此無論是超精密數(shù)控機(jī)床的運(yùn)動(dòng)測量與定位，還是集成電路芯片線寬等特征尺寸測量、光掩膜制作以及晶圓掃描工作臺(tái)的運(yùn)動(dòng)測量與定位，均需要納米級(jí)精度的精密測量儀器。隨著近幾年世界經(jīng)濟(jì)格局的變化和我國經(jīng)濟(jì)技術(shù)高速發(fā)展的趨勢，我國的機(jī)械科學(xué)和制造系統(tǒng)也發(fā)生了新的變革。此外，精密測試計(jì)量技術(shù)領(lǐng)域中，各種掃描探針顯微鏡、激光干涉儀、光柵尺和其他位移傳感器等也離不開納米級(jí)精度的精密測量儀器的校準(zhǔn)或標(biāo)定。