流量控制器能用于控制腐蝕性氣體和特殊氣體嗎? 如何選擇密封材料?

質(zhì)量流量控制器可以用于控制各種氣體, 包括腐蝕性氣體和特殊氣體, 但是要注意, 對于使用腐蝕性氣體和特殊氣體, 需要恰當(dāng)選擇型號和密封材料。用戶在訂貨時, 需要向供貨廠商特殊聲明使用氣體, 以免因為選型或選擇密封材料錯誤, 造成嚴(yán)重?fù)p失。

通常氣體質(zhì)量流量控制器接觸工作氣體的濕材料為316L不銹鋼、聚四氟乙烯和密封材料等, 密封材料又分為金屬密封和橡膠密封兩大類。金屬密封的材料一般為不銹鋼、金或鎳等耐腐蝕材料。流量控制器基本原理通過測量氣體流經(jīng)流量器內(nèi)加熱元件時的冷卻效應(yīng)來計量氣體流量的。采用金屬密封的MFC原則上可以用于任何氣體, 包括各種腐蝕性氣體和特種氣體。

由于金屬密封的MFC價格較高, 通常要求不高的場合, 均采用橡膠密封的MFC。如果不特殊聲明, MFC都采用氟橡膠密封, 可以用于大多數(shù)酸性和堿性腐蝕性氣體, 例如可以用于鹵族干燥氣體。流量控制器的穩(wěn)定控制時間由于到達(dá)設(shè)定值后控制器可能會發(fā)生超調(diào)，所以通常制造商用到達(dá)設(shè)定值且穩(wěn)定后所需要的時間作為設(shè)備響應(yīng)速度，并賦予波形振蕩幅度一個容許范圍。其它一些特殊腐蝕性氣體, 需要采用特種橡膠。氨氣——需要采用耐氨橡膠, 如乙丙橡膠、氯丁橡膠或丁晴橡膠;  三氯化硼等——需要采用全氟橡膠。

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流量控制器的特點

地定量控制流量

質(zhì)量流量控制器可以地控制氣體的給定量，這對很多工藝過程的流量控制、對于不同氣體的比例控制等特別有用。

適用范圍寬

有很寬的工作壓力范圍，我們的產(chǎn)品可以從真空直到10MPa; 可以適用于多種氣體介質(zhì)（包括一些腐蝕性氣體，如HCL）；有很寬的流量范圍，我們的產(chǎn)品流量范圍可達(dá)0～5 sccm，流量范圍可達(dá)0～200 slm。流量顯示的分辨率可達(dá)滿量程的0.1%， 流量控制范圍是滿量程的2～100% 量程比為-- 50:1， 因此在很多領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。對于三氯化硼等強腐蝕性氣體和MOCVD使用的金屬氧化物氣體建議采用金屬密封的MFC。

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流量控制器容易受這幾個方面的影響

質(zhì)量流量控制器是一種測量氣體流量的儀表，其測量值不因溫度或壓力的波動而失準(zhǔn)，不需要溫度壓力補償，可根據(jù)需要進行流量設(shè)定，自動地將流量恒定在設(shè)定值上，即使系統(tǒng)壓力有波動或環(huán)境溫度有變化，也不會使其偏離設(shè)定值?？梢缘乜刂茪怏w的給定量，這對很多工藝過程的流量控制，是用于對于不同氣體的比例控制。1%,流量控制范圍是滿量程的2~100%(量程比為--50:1),因此在很多領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。直接測量氣體的質(zhì)量流量，輸出質(zhì)量流量信號，不用其他設(shè)備。可以的測量微小流量，采用分流裝置，又可以測量大流量，而且溫度，壓力范圍很大。

一、壓力狀況

在加氣機中使用的質(zhì)量流量控制器測量的氣體的壓力不低于20MPa，壓力遠(yuǎn)遠(yuǎn)大于大氣壓。高壓改變了振動管的內(nèi)應(yīng)力，提高了彈性管的等效剛度，從而使振動管的振動頻率增大，兩管的相位差減??；氣體流經(jīng)振動管時，存在壓降，使得振動管受力不對稱，這也對相位差有影響。當(dāng)氣體流速增加，冷卻效應(yīng)越大，使須保持熱電阻間恒溫的電流也越大。

二、溫度影響

用于加氣機的CMF工作溫度遠(yuǎn)低于室溫，溫度影響必須考慮；介質(zhì)溫度或環(huán)境溫度變化會改變測量振動管的楊氏模量和影響零漂的結(jié)構(gòu)等各種因素。

三、流速問題

壓縮氣體密度低，流速快，其影響不能忽略。理想情況下，流速增大則振動管的振動頻率減小。通常流體密度變化小，可以認(rèn)為流速與流體質(zhì)量流量正比，因此流速的補償可以轉(zhuǎn)化為流量變化的非線性因素進行補償。

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流量控制器安全使用準(zhǔn)則

①質(zhì)量流量控制器應(yīng)用的成功與否，與安裝有直接關(guān)系。除正常安裝要求外，要特別注意減少振動影響，因為質(zhì)量流量控制器是基于振動原理工作的，外加振動會引入干擾。流量控制器特點1、穩(wěn)定的流量供給，不受溫度、壓力變化2、寬量程比，可達(dá)100：13、高達(dá)0。但盡可能小的外界干擾對測量無疑是有益的，所以對來自管線及現(xiàn)場環(huán)境的振動要盡量設(shè)法避免。

②儀表使用過程中在使用條件下有必要進行準(zhǔn)確的零點標(biāo)定，質(zhì)量流量控制器屬于在線使用的高度測量儀表，零點的漂移對測量結(jié)果有影響，長期使用時一定要定期進行標(biāo)定。

③一定要避免超過使用質(zhì)量流量控制器范圍的情況發(fā)生，這會引起儀表測量度的下降，嚴(yán)重時會導(dǎo)致儀表損壞。例如由于超過儀表使用溫度范圍的蒸汽掃線等操作，將會使檢測線圈損壞而使儀表無法再使用。

④質(zhì)量流量控制器度高，其價格也很高，這就要求對其精心維護，如給其配備高質(zhì)量的穩(wěn)壓電源，對現(xiàn)場的振動及使用條件進行經(jīng)常檢查等，以保證度及儀表的安全。

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