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使用流量控制器害怕什么?
怕粉塵, 若粉塵進(jìn)入流量計(jì)會(huì)堵塞傳感器和分流器, 造成測(cè)量誤差, 要求在進(jìn)氣口前加裝過(guò)濾器;
怕液體和油污進(jìn)入MFC, 會(huì)造成失控, 如果MFC的出口接有液體罐, 需要在MFC出口加上單向閥, 防止液體回流;
怕使用潮濕的腐蝕性氣體, 潮濕的腐蝕性氣體會(huì)使不銹鋼生銹, 造成MFC通道損壞, 因此要求在使用腐蝕性氣體前, 要對(duì)氣體和MFC管路系統(tǒng)進(jìn)行干燥處理;
怕在使用強(qiáng)腐蝕性、有毒等危害性氣體時(shí)不按安全規(guī)則操作, 有可能造成產(chǎn)品損壞和其它更嚴(yán)重的損失。正確使用, 安全操作, 對(duì)每個(gè)用戶(hù)都是重要的。
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什么是流量控制器
質(zhì)量流量控制器,即MassFlowController(MFC),不但具有質(zhì)量流量計(jì)的功能,更重要的是,它能自動(dòng)控制氣體流量,即用戶(hù)可根據(jù)需要進(jìn)行流量設(shè)定,MFC自動(dòng)地將流量恒定在設(shè)定值上,即使系統(tǒng)壓力有波動(dòng)或環(huán)境溫度有變化,也不會(huì)使其偏離設(shè)定值。質(zhì)量流量控制器(Mass Flow Controller縮寫(xiě)為MFC)用于對(duì)于氣體或者液體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測(cè)量和控制。擴(kuò)散,氧化,分子束外延,CVD,等離子刻蝕,濺射,離子注入,以及真空鍍膜設(shè)備,光纖熔煉,微反應(yīng)裝置,混氣配氣系統(tǒng),毛細(xì)管測(cè)量氣象色譜儀,光導(dǎo)纖維制造設(shè)備中。并廣泛用于石油化工。冶金,制藥等。這樣很容易實(shí)現(xiàn)對(duì)流量的數(shù)字顯示﹑累積流量自動(dòng)計(jì)量﹑數(shù)據(jù)自動(dòng)記錄﹑計(jì)算機(jī)管理等。特點(diǎn):精度高,重復(fù)性好。
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質(zhì)量流量控制器原理
質(zhì)量流量控制器是利用熱傳導(dǎo)原理測(cè)量流體流量的儀表,質(zhì)量流量控制器采用恒溫差法對(duì)氣體質(zhì)量流量進(jìn)行準(zhǔn)確測(cè)量。質(zhì)量流量控制器具有體積小,數(shù)字化程度高,安裝方便,測(cè)雖確等優(yōu)點(diǎn)。質(zhì)量流量控制器可用于玻璃、太陽(yáng)能、大氣監(jiān)測(cè)、工業(yè)制作、石油石化、煤炭冶金、制氣配氣、環(huán)保等各種工業(yè)企業(yè)的氣體管路分配控制、烴類(lèi)氣體、可燃性氣體、煙道氣等氣體的質(zhì)量流量或?qū)嶋H工況的體積流量測(cè)量和監(jiān)控。質(zhì)量流量控制器具有體積小,數(shù)字化程度高,安裝方便,測(cè)雖確等優(yōu)點(diǎn)。