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石英撓性加速度計的高精度信號處理是基于力矩平衡原理、采用伺服回路實現,伺服回路的性能是制約石英撓性加速度計性能提高的關鍵因素之一。 現有技術方案中,混合集成式模擬伺服回路因集成電路工藝問題,精度較低;分立元件式伺服回路集成度低,傳輸電容信號、極易受寄生電容影響,實用性較低。石英撓性加速度計主要有4個分類,分別是SRJ-1、SRJ-2、SRJ-3和SRJ-4等,產品具有量程較大,穩(wěn)定性能好,精度高,氣密性能好的特點,主要應用在慣性導航系統,平臺慣導系統,并在航空、航天、艦船、慣性測量和制導等行業(yè)。
抗沖擊石英撓性加速度計,由表頭和伺服回路組成,加速度計表頭包括 上力矩器、下力矩器和位于上述兩力矩器之間的粘有線圈的石英玻璃擺片, 石英玻璃擺片包括支承環(huán)、撓性梁、擺和六個支承凸臺,其特征在于:沿輸 出軸方向上在所述的石英玻璃擺片的支承環(huán)和擺之間加有限制石英玻璃擺 片變形的限位結構,限制了石英玻璃擺片在輸出軸方向大沖擊下的變形,使 撓性梁的應力小于石英玻璃材料的強度極限,保護石英玻璃擺片不發(fā)生斷裂 失效。無伺服石英撓性加速度計批發(fā)在不改變儀表外形結構的情況下,使石英撓性加速度計的抗沖 擊能力達到了250g,且成本低,簡單易行,效果特別明顯。
隨著慣性系統低成本化的發(fā)展,在20世紀60年代中期開始出現新型的非液浮的所謂干式加速度計。由于這種儀表采用撓性支承技術,所以稱為石英撓性加速度計,且其結構與工藝大大簡化。目前這種石英撓性加速度計已廣泛應用于各類現代慣性系統中。無伺服石英撓性加速度計批發(fā)屬于單軸重力加速度計,其特點是結構簡單,體積小,精度和靈敏度高、可靠性高等。無伺服石英撓性加速度計批發(fā)的工作原理是慣性質量受到外界加速度時,相對位置發(fā)生輕微偏移,引起差動電容極板距離的變化導致差動電容量的變化。
加速度引起的差動電容變化量C,由伺服電路中差動電容檢測器檢測,其輸出為電流,此電流經電流積分器變成輸出電壓,然后跨導補償放大器把電壓變成輸出電流,該輸出電流的大小與輸入加速度成正比。無伺服石英撓性加速度計批發(fā)是一種用來反映物體在運動過程中的速度變化狀態(tài)的物理量,其無法直接測量,當前的加速度傳感器(加速度計)采用間接測量以及力的平衡等技術來獲取物體的加速度。無伺服石英撓性加速度計批發(fā)具有低成本、易操作、結構簡單、彈性后效小,具有高精度、大量程、低功耗、直接頻率脈沖輸出等突出特點,具有啟動重復性和良好的環(huán)境適應性等特點。