無(wú)塵車(chē)間的原則:

無(wú)塵車(chē)間里存在大量可以節(jié)約能源的地方，例如暖氣、通風(fēng)和空調(diào)(HVAC)、工藝?yán)鋮s、壓縮空氣以及一些其他的設(shè)施。 HVAC系統(tǒng)消耗的電力超過(guò)了整座晶片制造廠(chǎng)用電量的一半。之所以造成大量浪費(fèi)電力及HVAC的容量過(guò)剩，很大程度上是因?yàn)樵谠O(shè)計(jì)和建造工廠(chǎng)時(shí)走捷徑，盡可能地壓縮前期投入，而不顧后期運(yùn)行費(fèi)用。風(fēng)管的制作與安裝所采用的板材、型材及其其他的關(guān)鍵成品材料，應(yīng)滿(mǎn)足設(shè)計(jì)規(guī)定，并需有出廠(chǎng)產(chǎn)品檢驗(yàn)合格證明材料。高1效率的設(shè)計(jì)和高1效率設(shè)備需要很大的前期投入。

無(wú)塵車(chē)間潔凈度測(cè)試方法主要有以下三種：

      一、空態(tài)檢測(cè)方法

      指的是無(wú)塵車(chē)間系統(tǒng)已處在一切正常的運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)，但工藝設(shè)備以及工作人員還未進(jìn)入到無(wú)塵車(chē)間的情況下檢測(cè)的。

      二、動(dòng)態(tài)檢測(cè)方法

      指的是無(wú)塵車(chē)間系統(tǒng)已處在一切正常的運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)，但工藝設(shè)備與工作人員都已進(jìn)入無(wú)塵車(chē)間工作的情況下開(kāi)展檢測(cè)的。

      三、靜態(tài)檢測(cè)方法

      指的是無(wú)塵車(chē)間系統(tǒng)已處在一切正常的運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)，而且工藝設(shè)備已經(jīng)安裝完成但未正常運(yùn)轉(zhuǎn)，車(chē)間內(nèi)也沒(méi)有工作人員的情況下開(kāi)展檢測(cè)的。

無(wú)塵車(chē)間設(shè)計(jì)規(guī)范要求

隨著全球經(jīng)濟(jì)一體化的進(jìn)程，我國(guó)的企業(yè)不僅同國(guó)內(nèi)的企業(yè)展開(kāi)激烈的競(jìng)爭(zhēng)，而已還要跟國(guó)外企業(yè)展開(kāi)更為廣闊更為激烈的競(jìng)爭(zhēng)，所以我們現(xiàn)在的企業(yè)不得不進(jìn)行轉(zhuǎn)型、升級(jí)、創(chuàng)新，因?yàn)橹挥羞@樣我們才能生存。而在這種商業(yè)環(huán)境下，潔凈技術(shù)將被我們?cè)絹?lái)越重視，因?yàn)闈崈魪S(chǎng)房不僅能保證工作人員身體健康，而且對(duì)產(chǎn)品的質(zhì)量、精度、成品率、穩(wěn)定性等都有顯著作用。四、還有潔凈廠(chǎng)房頻率風(fēng)向上風(fēng)側(cè)有煙囪時(shí)，潔凈廠(chǎng)房與煙囪之間的水平距離不宜小于煙囪高度的12倍，潔潔廠(chǎng)房與交通干道之間的距離不宜小于50米。