1、高純氦氣氣瓶應(yīng)置于專用庫房貯存，庫房應(yīng)契合《建筑設(shè)計防火標準》的有關(guān)規(guī)定。

2、高純氦氣的空瓶與重瓶應(yīng)分開放置，并有明顯的標志，在附近設(shè)置滅火器材。

3、瓶內(nèi)的高純氦氣彼此觸摸能引起燃燒、、產(chǎn)生毒物的氣瓶，禁止放在同一庫房內(nèi)。

4、氣瓶放置應(yīng)整齊、戴好瓶帽，立放時應(yīng)妥善固定，橫放時頂部朝同一方向。

另外，存放高純氦氣的庫房內(nèi)不得有地溝、暗道，禁止明火和其他熱源。庫房內(nèi)應(yīng)通風(fēng)、枯燥，防止陽光直射、雨水淋濕，謹防庫房內(nèi)積水，腐蝕鋼瓶。

電光源工業(yè)、玻璃制造、機械加工、航空航天、的基礎(chǔ)建設(shè)

4、切割、焊接的介質(zhì)，應(yīng)用于電光源工業(yè)、玻璃制造、機械加工、航空航天、等基礎(chǔ)建設(shè)等。5、反應(yīng)及中和介質(zhì)，在精細化工、生物中用于反應(yīng)、保護等。6、冷凍和保鮮介質(zhì)，常用液氮、二氧化碳等用于食品加工。7、殺菌介質(zhì)，氦氣、氧氣、氮氣、激光混合氣等用于設(shè)備。8、綜合手段與介質(zhì)，應(yīng)用于制造業(yè)的成型保護、核反應(yīng)堆的保護、電光源照明行業(yè)和吹掃等。

氣相沉積氣體:含鹵化物及鹵碳化合物為主,如、三氟化氮(NF3

（3）蝕刻清洗氣體：以含鹵素的鹵化物及鹵碳化合物為主，如、三氟化氮（NF3）、（HBr）、四氟化碳（CF4）、六氟（C2F6）等。（4）反應(yīng)氣體：以碳系及氮系氧化物為主，如二氧化碳（CO2）、氨（NH3）、氧化亞氮（N2O）等。（5）金屬氣相沉積氣體：含鹵化金屬及有機烷類金屬，如六氟化鎢（WF6）、（Ga（CH3）3）等。