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公司產(chǎn)品包括石英掩膜版,蘇打掩膜版,以及菲林版。蘇州制版根據(jù)客戶的構(gòu)想、草圖,定制版圖,蘇州制版提供高質(zhì)量掩膜版以及后期的代加工服務(wù)!
光刻掩模版通常用石英玻璃做為化學(xué)反應(yīng),選用方解石是因?yàn)槠涞慕贤饩€穿透率。掩模版遮光一部分用Cr,因此有時(shí)候也叫鉻板。選用燈的g線應(yīng)i線,在于你常用的光刻膠,每個(gè)光刻膠產(chǎn)品介紹都是列舉其所比較敏感的納米段。
光掩膜除了應(yīng)用于芯片制造外,還廣泛的應(yīng)用與像LCD,PCB等方面。常見的光掩膜的種類有四種,鉻版(chrome)、干版,凸版、液體凸版。主要分兩個(gè)組成部分,基板和不透光材料。如需要烤版,烤版時(shí)要注意:①首先要選好烤版膠,烤版膠不能太臟?;逋ǔJ歉呒兌龋头瓷渎?,低熱膨脹系數(shù)的石英玻璃。鉻版的不透光層是通過濺射的方法鍍?cè)诓A路胶窦s0.1um的鉻層。鉻的硬度比玻璃略小,雖不易受損但有可能被玻璃所傷害。
使用鉻刻蝕液進(jìn)行濕法刻蝕,將暴露出的鉻層刻蝕掉形成透光區(qū)域,而受光刻膠保護(hù)的鉻層不會(huì)被刻蝕,形成不透光區(qū)域。這樣便在掩膜版上形成透光率不同的平面圖形結(jié)構(gòu)。
在有必要的情況下,使用濕法或干法方式去除掩膜版上的光刻膠層,并對(duì)掩膜版進(jìn)行清洗。