復(fù)合式ULSI制程大都采用此種型式

復(fù)合式

此種方式是為了將亂流式及層流式予以復(fù)合或并用，可提供局部超潔凈之空氣。

1．裝局部潔凈車間：將潔凈車間等級(jí)10,000~100,000之亂流潔凈車間內(nèi)之產(chǎn)品制程區(qū)的潔凈度等級(jí)提高為10~1000級(jí)以上，以為生產(chǎn)之用;潔凈工作臺(tái)、潔凈工作棚、潔凈風(fēng)柜即屬此類。

2．凈管道：將產(chǎn)品流程經(jīng)過的自動(dòng)生產(chǎn)線包圍并凈化處理，將潔凈度等級(jí)提至100級(jí)以上。因產(chǎn)品和作業(yè)員及發(fā)塵環(huán)境相互隔離，少量之送風(fēng)即可得到良好之潔凈度，可節(jié)省能源，不需人工的自動(dòng)化生產(chǎn)線為適宜使用。藥品、食品業(yè)界及半導(dǎo)體業(yè)界均適用。

3．凈隧道：以HEPA或ULPA過濾器將制程區(qū)域或工作區(qū)域100%覆蓋使?jié)崈舳鹊燃?jí)提高至10級(jí)以上，可節(jié)省安裝運(yùn)轉(zhuǎn)費(fèi)用。此型式需將作業(yè)人員之工作區(qū)與產(chǎn)品和機(jī)器維修予以隔離，以避免機(jī)器維修時(shí)影響工作及品質(zhì)。ULSI制程大都采用此種型式。潔凈隧道另有二項(xiàng)優(yōu)點(diǎn)：①?gòu)椥詳U(kuò)充容易;②維修設(shè)備時(shí)可在維修區(qū)輕易執(zhí)行。

電話和火警設(shè)備不能少潔凈廠房設(shè)置電話

空調(diào)凈化需關(guān)注節(jié)能

空調(diào)凈化是能耗大戶，設(shè)計(jì)與施工中需關(guān)注節(jié)能措施。在設(shè)計(jì)中，系統(tǒng)及區(qū)域的劃分，送風(fēng)量計(jì)算，溫度與相對(duì)溫度的確定，潔凈級(jí)別與換氣次數(shù)的確定，新風(fēng)比，風(fēng)管保溫，風(fēng)管制作中的咬口形式對(duì)漏風(fēng)率的影響，干管支管連接角度對(duì)氣流阻力的影響，法蘭連接是否漏風(fēng)等以及空調(diào)箱、風(fēng)機(jī)、冷水機(jī)組等設(shè)備選擇無一不與能耗有關(guān)，所以，這些細(xì)節(jié)必須要考慮到。

電話和火警設(shè)備不能少

潔凈廠房設(shè)置電話，對(duì)講電話，可以減少人員在潔凈區(qū)走動(dòng)，減少發(fā)塵量，也可在萬一發(fā)生火災(zāi)時(shí)及時(shí)與外部聯(lián)系，也為正常工作聯(lián)系創(chuàng)造條件。此外，還應(yīng)設(shè)置火災(zāi)報(bào)警系統(tǒng)，防止火情不易被外部發(fā)現(xiàn)而造成重大經(jīng)濟(jì)損失。

鍛造生產(chǎn)車間粉塵與粉塵解決方式

因無塵室在生產(chǎn)制造生產(chǎn)過程中會(huì)造成一部分有機(jī)廢氣、粉塵也有噪聲，尤其在一些機(jī)器設(shè)備較為老舊的軋鋼廠，因?yàn)槟昃檬藓图庸すに嚨穆湮?，所造成的有機(jī)廢氣和粉塵等對(duì)周圍環(huán)境導(dǎo)致的危害更高。常見于鍛造生產(chǎn)車間的粉塵與粉塵解決方式有三種:針對(duì)鍛造生產(chǎn)車間粉塵粉塵整治所選用的方式，一般有三種方法可列舉：一部分除灰凈化處理、全體人員除灰凈化處理法和工業(yè)除塵。從根源來解決，選用大中型粉塵處理設(shè)備解決。也就大伙兒常說的中間除塵設(shè)備、布袋式除塵器、濾筒式除塵器去解決，這就是以根本原因處理粉塵難題。

1、工作人員的管理方法--制訂有關(guān)管理制度，如《潔凈車間管理規(guī)定》：從工作人員進(jìn)到凈化車間-拆換防污衣-風(fēng)淋室-進(jìn)到凈化車間的-生產(chǎn)過程主題活動(dòng)管控規(guī)定-出凈化車間等管理方法關(guān)鍵。

2、在進(jìn)到千級(jí)凈化車間以前，設(shè)備和原材料應(yīng)盡量維持密封性情況。在進(jìn)到千級(jí)凈化車間以前，她們務(wù)必在進(jìn)到千級(jí)凈化車間以前根據(jù)氣體淋浴室。在全部全過程中，務(wù)必戴一個(gè)密封性的安全頭盔和一個(gè)小的排氣管帶。

3、清理管理方法：①創(chuàng)建凈化處理設(shè)備、機(jī)器設(shè)備、防污服務(wù)項(xiàng)目的按時(shí)標(biāo)準(zhǔn)清理頻率，按時(shí)清理，不一樣地區(qū)清理頻率需不一樣；②學(xué)習(xí)培訓(xùn)清理工作人員，清理具體方法開展學(xué)習(xí)培訓(xùn)，選用從上至下，從左往右方法清理;③監(jiān)管清理的實(shí)效性。

4、濕式電除塵器的原理：當(dāng)汽體在離心風(fēng)機(jī)的吸引住下從集塵器蓋的風(fēng)管進(jìn)到漩流板油煙凈化器時(shí)，它根據(jù)灑水沖擊性隔水層，更改汽體的健身運(yùn)動(dòng)方位，使細(xì)顆粒物因?yàn)閼T性力而再次向原先的方位健身運(yùn)動(dòng)。大部分細(xì)顆粒物粘附在水中后會(huì)留到水里。沖擊性水浴后，一部分細(xì)顆粒物隨汽體挪動(dòng)，與沖擊性霧水和循環(huán)系統(tǒng)自噴水緊密結(jié)合，在行為主體中進(jìn)一步充足混和。

灌裝凈化車間的尺寸依必須而定

灌裝凈化車間好是能與外部防護(hù)，不可以穿梭或受別的要素影響。無菌檢測(cè)灌裝車間的尺寸依必須而定，一般由更衣室、緩沖間、不銹鋼風(fēng)淋室和操作室構(gòu)成。更衣室放到外，關(guān)鍵供拆換衣服帽子、鞋等；緩沖間坐落于更衣室與不銹鋼風(fēng)淋室中間，也可另外和好多個(gè)操作室互通；操作室放到內(nèi)間，關(guān)鍵供商品灌裝，屋子應(yīng)不會(huì)受到日光照射，尺寸適度，高寬比適合(實(shí)際依據(jù)生產(chǎn)線設(shè)備的高寬比明確)。屋子過大，清理和消菌麻煩；過小，實(shí)際操作麻煩；頂端過過高危害紫外光的合理殺菌實(shí)際效果。墻面應(yīng)光潔無死角，便于清理和消菌。飲品（食品類）無菌檢測(cè)灌裝凈化車間應(yīng)是封閉式并維持車間負(fù)壓差為正壓力，設(shè)定室內(nèi)消毒用的紫外線滅菌燈、空氣凈化凈化器和控溫設(shè)備。