【廣告】
1級(jí):主要應(yīng)用于電子工業(yè),這是目前對(duì)凈化工程要求高的環(huán)境,集成電路要求的精度要達(dá)到亞微米。隨著微電子工業(yè)技術(shù)領(lǐng)域的突飛猛進(jìn),對(duì)潔凈室的要求越來越高。及時(shí)生產(chǎn)間內(nèi)的例子直徑僅有1微米,也會(huì)使產(chǎn)品壽命受到影響。壓力差的維持依靠新風(fēng)量,這個(gè)新風(fēng)量要能補(bǔ)償在這一壓力差下從縫隙漏泄掉的風(fēng)量。所以壓力差的物理意義就是漏泄(或滲透)風(fēng)量通過潔凈室的各種縫隙時(shí)的阻力。凈化工程的等級(jí)劃分比較的嚴(yán)格,一般按照7個(gè)等級(jí)進(jìn)行的劃分,分別是1級(jí),10級(jí),100級(jí),1000級(jí),10000級(jí),100000,1000000級(jí),凈化安全要求是根據(jù)等級(jí)來實(shí)施的,凈化工程等級(jí)數(shù)越小,級(jí)別是越高的,其含塵量越少,排名是靠前的。
凈化工程在設(shè)計(jì)時(shí),工程的墻、頂板材一般多采用50mm厚的夾芯彩鋼板,其特點(diǎn)為美觀、剛性強(qiáng)。圓弧墻角、門、窗框等一般采用氧化鋁型材。具體工藝對(duì)溫度的要求以后還要列舉,但作為總的原則看,由于加工精度越來越精細(xì),所以對(duì)溫度波動(dòng)范圍的要求越來越小。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中,作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。地面可采用環(huán)氧自流坪地坪或耐磨塑料地板,有防靜電要求的,要選用防靜電型。送回風(fēng)管道一般用鍍鋅鋼板,不宜選用玻璃棉類材料保溫。照明應(yīng)選用凈化車間燈具。
1000級(jí) 一般只對(duì)塵埃濃度做要求,用于光學(xué)器件,儀器等高精儀器等10000級(jí),用于液壓設(shè)備的生產(chǎn),和一些食品飲料的生產(chǎn)。100000級(jí),這個(gè)級(jí)別比較的低,對(duì)凈化度要求不是很高,主要在印刷廠,包裝廠等。相對(duì)濕度越高,粘附的難去掉,但當(dāng)相對(duì)濕度低于30%時(shí),又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面,同時(shí)大量半導(dǎo)體器件容易發(fā)生擊穿。對(duì)于硅片生產(chǎn)溫度范圍為35—45%。布置工藝的流程盡可能短,減少交叉往復(fù),、物流走向合理。要配備人員凈化室、物料凈化室,除配備產(chǎn)品工序要求的用室外,還應(yīng)配備潔具室、洗衣間、暫存室等,每間用室相互獨(dú)立,凈化工程的面積應(yīng)在保證基本要求前提下,與生產(chǎn)規(guī)模相適應(yīng)。