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昆山掩膜版推薦「在線咨詢」

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發(fā)布時間:2021-01-11 03:12  






公司產(chǎn)品包括石英掩膜版,蘇打掩膜版,以及菲林版。蘇州制版根據(jù)客戶的構(gòu)想、草圖,定制版圖,蘇州制版提供高質(zhì)量掩膜版以及后期的代加工服務(wù)!

透明基板1、透明玻璃 。石英玻璃(Quartz Glass)蘇打玻璃(Soda-lime Glass)低膨脹玻璃(Low Expansion Glass)2、透明樹脂遮光膜(1)硬質(zhì)遮光膜:鉻膜氧化鐵硅化鉬硅。(2)乳膠。








光刻機(jī)的結(jié)構(gòu)和工作原理:

  光刻機(jī)的光源有:激光,紫外光、深紫外光、極紫外光?,F(xiàn)在先進(jìn)技術(shù)是極紫外光。

  下圖是以激光為光源的光刻機(jī)簡易工作原理圖:

  在制造芯片時,首先在晶圓(硅晶片)表面涂光感膠,再用光線透過掩模版(相當(dāng)于芯片電路圖紙的底片)照射硅片表面,被光線照射到的光感膠會發(fā)生反應(yīng)。此后用特定溶劑洗去被照射或者未被照射的膠,電路圖就印到硅片上。

  此過程相當(dāng)于木匠施工用墨斗放樣、劃線。

  硅片上有了電路圖的圖樣后,就輪到刻蝕機(jī)登場,刻蝕機(jī)相當(dāng)于木匠的鋸子、斧頭、鑿子、刨子??涛g機(jī)按圖施工,在硅片表面雕刻出晶體管和電路。







掩模板是根據(jù)放大了的原圖制備的帶有透明窗口的模板。例如,可以用平整的玻璃板,涂覆上金屬鉻薄膜,通過類似照相制版的方法制備而成。具有微納圖形結(jié)構(gòu)的掩模板通常使用電子束光刻機(jī)直接制備,其制作過程就是典型的光刻工藝過程,包括金屬各層沉積、涂膠、電子束光刻、顯影、鉻層腐蝕及去膠等過程。②烤版膠濃度要合適,如烤版膠太稠,烤版效果和上墨效果也不會令人滿意。





光刻掩膜版(又稱光罩,英文為Mask Reticle),簡稱掩膜版,是微納加工技術(shù)常用的光刻工藝所使用的圖形母版。由不透明的遮光薄膜在透明基板上形成掩膜圖形結(jié)構(gòu),再通過曝光過程將圖形信息轉(zhuǎn)移到產(chǎn)品基片上。

1) 繪制生成設(shè)備可以識別的掩膜版版圖文件(GDS格式)2) 使用無掩模光刻機(jī)讀取版圖文件,對帶膠的空白掩膜版進(jìn)行非接觸式曝光(曝光波長405nm),照射掩膜版上所需圖形區(qū)域,使該區(qū)域的光刻膠(通常為正膠)發(fā)生光化學(xué)反應(yīng)3) 經(jīng)過顯影、定影后,曝光區(qū)域的光刻膠溶解脫落,暴露出下面的鉻層4) 使用鉻刻蝕液進(jìn)行濕法刻蝕,將暴露出的鉻層刻蝕掉形成透光區(qū)域,而受光刻膠保護(hù)的鉻層不會被刻蝕,形成不透光區(qū)域。這樣便在掩膜版上形成透光率不同的平面圖形結(jié)構(gòu)。5) 在有必要的情況下,使用濕法或干法方式去除掩膜版上的光刻膠層,并對掩膜版進(jìn)行清洗。倍縮光掩模(Reticle):當(dāng)鉻膜玻璃僅能局部覆蓋晶圓稱為倍縮光掩模,通常圖型要放大4倍、5倍或10倍。









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