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離子鍍膜設(shè)備的操作規(guī)范是怎樣的?
離子鍍膜設(shè)備的操作規(guī)范是怎樣的? 1、設(shè)備中的真空管道、靜態(tài)密封零部件(法蘭、密封圈等)的結(jié)構(gòu)形式,應(yīng)符合GB/T6070的規(guī)定。 2、在低真空和高真空管道上及真空鍍膜室上應(yīng)安裝真空測(cè)量規(guī)管,分別測(cè)量各部位的真空度。當(dāng)發(fā)現(xiàn)電場(chǎng)對(duì)測(cè)量造成干擾時(shí),應(yīng)在測(cè)量口處安裝電場(chǎng)屏蔽裝置。 3、如果設(shè)備使用的主泵為擴(kuò)散泵時(shí),應(yīng)在泵的進(jìn)氣口一側(cè)裝設(shè)有油蒸捕集阱 4、設(shè)備的鍍膜室應(yīng)設(shè)有觀察窗,應(yīng)設(shè)有擋板裝置。觀察窗應(yīng)能觀察到沉積源的工作情況以及其他關(guān)鍵部位。 5、離子鍍沉積源的設(shè)計(jì)應(yīng)盡可能提高鍍膜過(guò)程中的離化率,提高鍍膜材料的利用率,合理匹配沉積源的功率,合理布置沉積源在真空室體的位置。 6、合理布置加熱裝置,一般加熱器結(jié)構(gòu)布局應(yīng)使被鍍工件溫升均勻一致。 7、工件架應(yīng)與真空室體絕緣,工件架的設(shè)計(jì)應(yīng)使工件膜層均勻。 8、離子鍍膜設(shè)備一般應(yīng)具有工件負(fù)偏壓和離子轟擊電源,離子轟擊電源應(yīng)具有抑制非正常放電裝置,維持工作穩(wěn)定。
實(shí)驗(yàn)室中使用小型鍍膜設(shè)備
實(shí)驗(yàn)室中使用小型鍍膜設(shè)備 我們?cè)趯?shí)驗(yàn)室中使用的基本上都是小型的鍍膜設(shè)備,下面我們就來(lái)了解一下這種設(shè)備。 用作真空蒸發(fā)鍍的裝置稱為蒸發(fā)鍍膜機(jī)。蒸發(fā)鍍膜機(jī)主要由真空室、排氣系統(tǒng)、蒸發(fā)系統(tǒng)和電氣設(shè)備四部分組成。真空室是放置鍍件、進(jìn)行鍍膜的場(chǎng)所,直徑一般為400~700mm,高400~800mm,用不銹鋼或碳鋼制作,有水冷卻裝置。 真空中制備膜層可防止膜料和鍍件表面的污染,消除空間碰撞,提高鍍層的致密性和可制備單一化合物的特殊功能的鍍層。 為了提高鍍層厚度的均勻性,真空室內(nèi)的鍍件夾具有行星機(jī)構(gòu)或自轉(zhuǎn)加公轉(zhuǎn)的運(yùn)動(dòng)裝置,如用行星運(yùn)動(dòng)方式,這種運(yùn)動(dòng)方式成膜均勻性好,臺(tái)階覆蓋性能良好,鍍件裝載量大,可以充分利用真空鍍膜室的有效空間,是目前經(jīng)常采用的運(yùn)動(dòng)方式。 排氣系統(tǒng)一般由機(jī)械泵、擴(kuò)散泵、管道和閥門組成。為了提高抽氣速率,可在機(jī)械泵和擴(kuò)散泵之間加機(jī)械增壓泵。因此,排氣系統(tǒng)既要求在較短的時(shí)間內(nèi)獲得低氣壓以保證快速的工作循環(huán),也要求確保在蒸氣鍍膜時(shí)迅速排除從蒸發(fā)源和工作物表面所產(chǎn)生的氣體。
離子鍍膜設(shè)備的工作原理及操作方法
離子鍍膜設(shè)備的工作原理及操作方法 目前商業(yè)上已有很精制的設(shè)備安裝在顯微鏡下的載物臺(tái)的位置上。濺射鍍膜時(shí),將拋光的試樣安放在式樣頭具上,傾轉(zhuǎn)到面對(duì)電子槍(陰極)的位置,調(diào)節(jié)濺射室中的氣壓,輝光放電,陰極濺射,反應(yīng)濺射沉積。一定時(shí)間后,中斷濺射,把濺射沉積的試樣表面,轉(zhuǎn)回到面對(duì)物鏡的位置,觀察試樣表面的顏色,來(lái)評(píng)定沉積膜的厚度,當(dāng)要求的顏色得到時(shí),鍍膜操作停止。
真空鍍膜機(jī)中鎢絲的注意事項(xiàng)
真空鍍膜機(jī)中鎢絲的注意事項(xiàng): 鎢在常溫下有較好的耐酸、堿能力,但在潮濕的空氣中易被氧化,所以細(xì)鎢絲不能在潮濕環(huán)境中貯存過(guò)久。另外鎢在1200℃上下就開始與碳起反應(yīng)生成鎢的碳化物,所以對(duì)燈絲的燒氫處理要注意這個(gè)問題,否則鎢與其表面的石墨潤(rùn)滑劑起反應(yīng),則燈絲就要變脆斷裂。 鎢絲一旦經(jīng)高溫使用發(fā)生再結(jié)晶以后就變得很脆,在受沖擊或震動(dòng)的情況下極易斷裂。在一些要求高可靠性的電光源產(chǎn)品中,為防止燈絲的斷裂,常在摻雜鎢絲中加入3~5%的錸,稱為鎢錸絲,它可以使鎢的延脆轉(zhuǎn)變溫度下降到室溫或室溫以下。這是一種很奇特的錸效應(yīng),至今還未發(fā)現(xiàn)一種元素能代替錸,在鎢中產(chǎn)生同樣效應(yīng)。