層過濾/紙袋（丟棄式）：4gall(15L)能有效的收集處理可目視粉塵。

第二層過濾/加大的布質(zhì)過濾器（可洗式）：可以保護(hù)并延長(zhǎng)HEPA 過濾器的壽命。

第三層過濾/馬達(dá)保護(hù)套：深層過濾，可以保護(hù)馬達(dá)使用壽命。

第四層過濾/HEPA 或ULPA 過濾器：

HEPA 可有效過濾0.3um 微塵達(dá)99.99%，適合用在較細(xì)微的過濾。HEPA 全部經(jīng)過激光塵埃粒子計(jì)數(shù)器的檢測(cè)。ULPA 可以有效過濾99.999%的0.12um（相當(dāng)于人類頭發(fā)直徑的1/960）d大小的粉塵，適用于CLASS1-10級(jí)無塵凈化環(huán)境，國家航天局專用吸塵器。

相信懂得凈化車間吸塵器的應(yīng)該比較熟悉了吧，這樣的過濾系統(tǒng)用在百級(jí)和千級(jí)凈化車間車間里面是不成問題的。

凈化車間煙控原理及設(shè)計(jì)方式

近幾年來，在我國的新竹科學(xué)工業(yè)園區(qū)內(nèi)陸續(xù)發(fā)生了多次半導(dǎo)體廠房火災(zāi)事故，雖然所造成的人員傷亡不大，但對(duì)于財(cái)物的損失卻很可觀，其數(shù)目動(dòng)輒以數(shù)十億乃至百億元新臺(tái)幣計(jì)算，對(duì)業(yè)界所造成的損傷與危害可想而知。高溫濃煙才是造成財(cái)損的元兇，但由于土地取得不易，凈化車間廠房多向高樓層發(fā)展，高智慧的技術(shù)人力及昂貴的設(shè)備機(jī)臺(tái)集中在廠房?jī)?nèi)，萬一發(fā)生火災(zāi)意外，損失將數(shù)十倍于一般工廠。此外，高科技凈化車間廠房?jī)?nèi)使用許多的性與性氣體，例如SiH4、H2、PH3 等，更增加廠房?jī)?nèi)的潛在危險(xiǎn)，若無適當(dāng)?shù)膶?duì)策與措施，因此，為了降低火災(zāi)發(fā)生時(shí)人員的傷亡與財(cái)物的損失，必須對(duì)建筑物進(jìn)行煙流控制，這一點(diǎn)新加坡已強(qiáng)制規(guī)定執(zhí)行，而在鄰近的日本、大陸或香港也有類似煙流控制法規(guī)，其目的都是在降低火災(zāi)發(fā)生時(shí)，高溫?zé)熈鲗?duì)員工及設(shè)備污染的傷害。

第二個(gè)假設(shè)為：若火災(zāi)發(fā)生于下層回風(fēng)區(qū)中，則上升的會(huì)蓄積于下層回風(fēng)區(qū)的上部，讓由排氣風(fēng)管打開的閘門抽走。然而上述兩種假設(shè)在現(xiàn)實(shí)狀況中皆很難成立，因?yàn)閺膬艋囬g天花板下吹的垂直層流速度在0.25-0.5 m/s 左右，而火災(zāi)的熱釋放率只要大于3kW，的向上速度就會(huì)大于0.5 m/s，然后會(huì)在上方蓄積形成蓄煙層，此時(shí)從凈化車間天花板下吹的氣流只會(huì)造成更迅速的擴(kuò)散，產(chǎn)生更大的危害。