靜電式凈化方式

　　工作原理：采用高壓靜電吸附除塵工作原理。靜電式是采用高壓靜電吸附除塵的工作原理。靜電場(chǎng)中的陰極線在高壓靜電的作用下，產(chǎn)生電暈放電，電暈層中產(chǎn)生大量的負(fù)離子，負(fù)離子在靜電場(chǎng)的作用下，不斷地向陽(yáng)極運(yùn)動(dòng)。當(dāng)空氣中粉塵通過電場(chǎng)時(shí)，粉塵受到負(fù)離子的碰撞帶上電荷，帶上電荷后的粉塵同樣受到靜電場(chǎng)的作用，向陽(yáng)極（集塵極）運(yùn)動(dòng)，到達(dá)陽(yáng)極后釋放電荷。 缺點(diǎn)：可去除飄塵（不能去除氣體），效能比機(jī)械式低、慢，而且易產(chǎn)生臭氧，此機(jī)型被美國(guó)市場(chǎng)評(píng)為差凈化器。

凈化車間屬于人造的環(huán)境，里面含有的粒子遠(yuǎn)低于一般的環(huán)境，隨著集成電路的級(jí)數(shù)的快速成長(zhǎng)，也增加了對(duì)制造環(huán)境(凈化車間)潔凈度要求，在工業(yè)上即使使粒子之尺寸想小于0.1 微米.也可能阻礙產(chǎn)品的制作或降低其壽命。優(yōu)于納米技術(shù)的興起，造成半導(dǎo)體關(guān)鍵尺寸持續(xù)縮小，集成電路積集度不斷地增加，塵粒更容易使芯片失效或可靠度下降。例如當(dāng)金屬塵粒落到金屬導(dǎo)線時(shí)，就可能會(huì)使金屬導(dǎo)線形成短路。所以凈化車間為集成電路制造必不能少的因素。

國(guó)內(nèi)現(xiàn)有防排煙模式分析國(guó)內(nèi)目前現(xiàn)有之凈化車間煙控模式共有四種。其中，煙控設(shè)計(jì)原理，就是利用在凈化車間下層回風(fēng)區(qū)的一般排氣風(fēng)管，在其上安裝閘門，平時(shí)此閘門為關(guān)閉狀態(tài)，以維持一般排氣的運(yùn)作，若遇上凈化車間或凈化車間下層回風(fēng)區(qū)發(fā)生火災(zāi)時(shí)，則打開閘門以進(jìn)行排煙。此設(shè)計(jì)必須有兩個(gè)假設(shè)成立才能發(fā)揮其功效，假設(shè)為：若火災(zāi)發(fā)生于凈化車間中，則凈化車間上方的FFU 下吹垂直層流速度必須大過火災(zāi)向上升的速度，才能壓制凈化車間火災(zāi)產(chǎn)生的，將其導(dǎo)引向下至下層回風(fēng)區(qū)中，然后經(jīng)由排氣風(fēng)管打開的閘門抽走。