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一氧化氮的物理性質(zhì)
一氧化氮的分子式為NO,由一個(gè)氮原子和一個(gè)氧原子組成
一氧化氮的物理性質(zhì)
一氧化氮的分子量為30.01,一氧化氮是一種無(wú)色氣體,當(dāng)溫度降到℃時(shí),能變成藍(lán)色液體.有毒.一氧化氮微溶于水、硫酸、硫酸鐵溶液和二i硫化碳溶液,極易溶于乙i酸。
分子量:30.006 熔點(diǎn)(三相點(diǎn),21.9kPa):-163.6℃
沸點(diǎn)(101.325kPa):-151.8℃ 液體密度(-151.75℃,101.325kPa):1300kg/m3
氣體密度(0℃,101.325kPa):1.340kg/m3 相對(duì)密度(25℃,101.325kPa,空氣=1):1.036
比 容(21.1℃,101.325kPa):0.8116m3/kg 充裝系數(shù)(15℃,101.325kPa):1.35kg/L
臨界壓力:6550kPa 臨界密度:517kg/m3
熔化熱(-151.8℃ 21.9kPa):76.62kJ/kg 汽化熱(-151.75℃ 101.325kPa):461.39kJ/kg
比熱容(15℃,101.325kPa):Cp=974.04J/(kg·K) 粘 度(100kPa,20℃ 氣體):0.01800mPa·s
蒸汽壓(-160℃):37kPa (-140℃):350kPa (-100℃):4750kPa
導(dǎo)熱系數(shù)(101.325kPa,0℃ ):0.02349W/(m·K)
高純/特種氣體的概念
半導(dǎo)體集成電路制造所需要的高純氣體主要分為兩大類:
1.普通氣體:也叫大宗氣體,主要有:H2 、N2 、O2 、Ar 、He等。
2.特種氣體:主要指各種摻雜用氣體、外延用氣體、離子注入用氣體、刻蝕用氣體等。
半導(dǎo)體制造用氣體按照使用時(shí)的危險(xiǎn)性分類:
1.可燃、助燃、易然易暴氣體:H2 、CH4、H2S、NH3 、SiH4、PH3 、B2H6、SiH2CL3、CLF3、SiHCL3等
2.有毒氣體:AsH3、PH3 、B2H6等
3.助燃?xì)怏w:O2 、N2O、F2 、HF等
4.窒息性氣體:N2 、He 、CO2、Ar等
5.腐蝕性氣體:HCL 、PCL3 、POCL3 、HF、SiF4、CLF3等
一氧化碳性質(zhì)及危害
一氧化碳氣體在生活中很常見(jiàn),是是無(wú)色、無(wú)臭、無(wú)味的氣體,故易于忽略而致中i毒。標(biāo)準(zhǔn)狀況下純品的一氧化碳(CO)為無(wú)色、無(wú)臭、無(wú)刺激性的氣體,密度1.250g/l,沸點(diǎn)-190℃。在水中的溶解度甚低,極難溶于水。空氣混合爆i炸極限為12.5%~74%。一氧化碳進(jìn)入人體之后會(huì)和血液中的血紅蛋白結(jié)合,產(chǎn)生碳氧血紅蛋白,進(jìn)而使血紅蛋白不能與氧氣結(jié)合,從而引起機(jī)體組織出現(xiàn)缺氧,導(dǎo)致人體窒息死i亡,因此一氧化碳具有毒性。
既然一氧化碳的對(duì)人體的危害極大,那么在接觸這種氣體作業(yè)的人員企業(yè)配置一氧化碳?xì)怏w檢測(cè)儀是必不可少的。