工業(yè)烤箱的內(nèi)膽部分：內(nèi)膽材質(zhì)采用1.5毫米厚SUS#304鏡面不銹鋼板制做，不生銹，耐腐蝕，易清洗，使?fàn)t內(nèi)清潔、無(wú)塵。內(nèi)膽四周鋪10厘米厚高溫硅酸鋁隔熱巖棉，門(mén)邊四周增加耐高溫密封鑲?cè)胧焦枘z條，使?fàn)t外溫度不燙手。烘箱后方設(shè)有防爆機(jī)構(gòu)的防爆小門(mén)。

工業(yè)烤箱的發(fā)熱部分：內(nèi)置臺(tái)灣產(chǎn)不銹鋼散熱片發(fā)熱管于爐腔兩側(cè)，爐腔頂部配0.75KW進(jìn)口運(yùn)風(fēng)馬達(dá)一臺(tái)、配10寸半運(yùn)風(fēng)風(fēng)輪于爐腔頂部，兩面循環(huán)大風(fēng)量強(qiáng)制左右運(yùn)風(fēng)方式，配進(jìn)氣、排氣口閥門(mén)，可調(diào)節(jié)空氣流量，使?fàn)t內(nèi)溫度更加均勻。

使用工業(yè)烤箱需要留意那些小細(xì)節(jié)使物體干燥的設(shè)備，型號(hào)很多，工業(yè)烤箱但基本結(jié)構(gòu)相似，一般由箱體、電熱系統(tǒng)和自動(dòng)控溫系統(tǒng)三部分組成，其使用及注意事項(xiàng)總結(jié)如下：

1、當(dāng)一切準(zhǔn)備工作就緒后方可將試品放入烘箱內(nèi)，然后連接并開(kāi)啟電源，紅色指示燈亮表示箱內(nèi)已加熱。當(dāng)溫度達(dá)到所控溫度時(shí)，紅燈熄滅綠燈亮，開(kāi)始恒溫。為了防止溫控失靈，還必須照看。

2、烘箱應(yīng)安放在室內(nèi)干燥和水平處，工業(yè)烤箱防止振動(dòng)和腐蝕。

由于集成電路的制造過(guò)程是吳層的過(guò)程，所以每個(gè)層的位置不能移動(dòng)。熱風(fēng)循環(huán)烘箱吳般有加熱管，有循環(huán)風(fēng)機(jī)的烘箱都可稱為熱風(fēng)循環(huán)烘箱，因?yàn)椴还芎嫦涫裁唇Y(jié)構(gòu)，風(fēng)向水平還是垂直，歸根到底都是熱風(fēng)在里面循環(huán)，所以都可通稱為熱風(fēng)循環(huán)烘箱，如電熱鼓風(fēng)烘箱，對(duì)開(kāi)門(mén)高溫滅菌烘箱等。掩模和晶片可以對(duì)齊在晶片上。高壓gong燈G線(436 Nm)或我們吳行(波長(zhǎng)365 nm)輻照，光刻膠的光刻膠與掩模圖形的光敏圖案相同！