氦質(zhì)譜檢漏儀

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氦質(zhì)譜檢漏技術(shù)是真空檢漏領(lǐng)域里不可缺少的一種技術(shù)，由于檢漏，簡便易操作，儀器反應(yīng)靈敏，精度高，不易受其他氣體的干擾，在電阻爐檢漏中得到了廣泛應(yīng)用。氦質(zhì)譜檢漏儀是根據(jù)質(zhì)譜學(xué)原理，用氦氣作示漏氣體制成的氣密性檢測儀器。熱管檢漏客戶案例：某電子股份公司，是世界IT產(chǎn)業(yè)500強之一，分公司及營業(yè)處遍及美國、日本、歐洲、蘇格蘭、新加坡等地，全球員工近90000人。由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規(guī)組成的質(zhì)譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成。

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氦質(zhì)譜檢漏儀的結(jié)構(gòu)和工作原理

　　氦質(zhì)譜檢漏儀是180°磁偏轉(zhuǎn)型的質(zhì)譜分析計，其基本原理是根據(jù)離子在磁場中運動時，不同質(zhì)荷比的離子具有不同的偏轉(zhuǎn)半徑來實現(xiàn)不同種類離子的分離。檢漏儀主要由質(zhì)譜室、真空系統(tǒng)及電氣控制部分組成。檢漏時噴槍在漏孔處停留的時間應(yīng)為儀器響應(yīng)時間的3倍，該時間再加上氦氣在真空系統(tǒng)中的傳遞時間，即為兩次噴氦的較小間隔時間，當(dāng)然真空系統(tǒng)越龐大，該間隔時間也越長。檢漏工作時先打開抽空閥前級泵對檢漏接口抽真空，當(dāng)真空度P1 優(yōu)于200 Pa 時，打開入口閥1、2，關(guān)閉抽空閥，氦氣將逆著分子泵的抽氣方向進入質(zhì)譜室中被檢測出來，此時檢漏儀的較小可檢漏率為10- 10 Pa·m3/s。前級泵繼續(xù)對檢漏接口抽真空，當(dāng)P1降至20 Pa 時，入口閥2 關(guān)閉，入口閥3 打開，分子泵的高抽速用于抽空試件，檢漏儀的反應(yīng)時間縮短，此時檢漏儀的較小可檢漏率為10- 12 Pa·m3/s。

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氦氣檢漏的主要技術(shù)性能

1.真空箱尺寸根據(jù)電芯尺寸確定;

2.一般為三箱聯(lián)動系統(tǒng)，生產(chǎn)節(jié)拍可滿足單臺6PPM—12PPM；

3.開門方式，可根據(jù)用戶生產(chǎn)工藝要求來設(shè)計，一般為平開門式、滑臺合箱式；

4.上下料采用機械手或機器人，正常生產(chǎn)時設(shè)備無需人工操作；

5.系統(tǒng)配置二維碼掃描裝置，可將每個電芯的檢測數(shù)據(jù)對應(yīng)存儲；

6.具有清氦功能

7.具有氦氣回收功能（此功能可選）

8.自動判斷，并對應(yīng)放置（即不合格品放于不合格線，合格品放于合格線）

9.可通過觸摸屏設(shè)置不同等級密碼，更改設(shè)備參數(shù)；

10.人機交互界面，觸摸屏實時反映運行狀態(tài)和測試數(shù)據(jù)；

11.故障統(tǒng)計功能

12.系統(tǒng)采用配置和標(biāo)準(zhǔn)化設(shè)計制作，確保運行穩(wěn)定，性能可靠。

今天和大家分享的是氦氣檢漏的性能指標(biāo)，想了解更多產(chǎn)品信息您可撥打圖片上的電話進行咨詢！