微電子C/R建設(shè)費可能花費到$10億。fab能更快的被建造起來，產(chǎn)品也就能更快達到這市場。許多半導(dǎo)體公司的口號是較便宜和較好的。然而“錢”將成為一個很重要的考慮因素。一些廠商認(rèn)為適應(yīng)性可節(jié)省一筆金錢，而適應(yīng)性意指系統(tǒng)可任意移動或改變而不會招致到大的損失。C/R的擁有者和設(shè)計者的能力為改變一C/R的關(guān)鍵，所以他們從不將一開始的設(shè)計定型。

對C/R而言，其選擇地板的材料也是很重要的。低廉的C/R地板覆蓋著一層乙烯基在薄板上，若太硬的地板覆蓋會引起塵埃，而太軟的地板會造成地板彎曲甚致裂，但并不是所有C/R的地板，都會覆蓋，乙烯基。有些地板是沖孔式、格子式，而多面層流都是沖孔式。乙烯基有一作用即脫氧，但高濃度乙烯基與其它物若混合的話將會有減低脫氧的效果，而無塵室的墻若以鋁作為材料則將會非常昂貴，但鋁卻可以保護墻面不被空氣所氧化，可是卻易受酸性氣體的侵蝕，而避免的方法是使用電鍍，便鋁表面增厚，不易氧化，再在鋁表面上再涂上一層亮光漆即可防止金屬氧化。

潔凈車間表面光滑，盡可能減少集塵面，輪廓簡潔。潔凈廠房的設(shè)計應(yīng)合理確定廠房的耐火等級、屋頂、墻面等材料的耐火極限以及防火通道的配置?？紤]到生產(chǎn)工藝、配風(fēng)、管道敷設(shè)、照明、建筑空間處理等因素，確定合適的斷面形式和層高，以節(jié)約能源，簡化結(jié)構(gòu)，降低成本。清潔車間的內(nèi)部設(shè)計應(yīng)營造愉快的心理環(huán)境，減少抑郁的感覺。