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光刻膠介紹
光刻膠介紹
光刻膠是一種對光線、溫度、濕度十分敏感的材料,可以在光照后發(fā)生化學性質的改變,這是整個工藝的基礎。
光刻膠有不同的類型,PMMA(PMGI)以及DNQ(酚醛樹脂)等材料都可以做光刻膠。
目前光刻膠市場上的參與者多是來自于美國、日本、韓國等國家,包括 FUTURREX、陶氏化學、杜邦、富士膠片、信越化學、住友化學、LG化學等等,中國公司在光刻膠領域也缺少核心技術。
市場規(guī)模
中國半導體產(chǎn)業(yè)穩(wěn)定增長,全球半導體產(chǎn)業(yè)向中國轉移。據(jù)WSTS和SIA統(tǒng)計數(shù)據(jù),2016年中國半導體市場規(guī)模為1659.0億美元,增速達9.2%,大于全球增長速度(1.1%)。2016年中國半導體制造用光刻膠市場規(guī)模為19.55億元,其配套材料市場規(guī)模為20.24億元。預計2017和2018年半導體制造用光刻膠市場規(guī)模將分別達到19.76億元和23.15億元,其配套材料市場規(guī)模將分別達到22.64億元和29.36億元。常規(guī)光刻膠涂布工序的優(yōu)化需要考慮滴膠速度、滴膠量、轉速、環(huán)境溫度和濕度等,這些因素的穩(wěn)定性很重要。在28nm生產(chǎn)線產(chǎn)能尚未得到釋放之前,ArF光刻膠仍是市場主流半導體應用廣泛,需求增長持續(xù)性強。近些年來,全球半導體廠商在中國大陸投設多家工廠,如臺積電南京廠、聯(lián)電廈門廠、英特爾大連廠、三星電子西安廠、力晶合肥廠等。諸多半導體工廠的設立,也拉動了國內半導體光刻膠市場需求增長。
PCB穩(wěn)定
PCB被譽為'電子產(chǎn)品',廣泛應用于各個電子終端。2016年,全球PCB市場規(guī)模達542.1億美元。國外研究機構預測,PCB市場年復合增長率可達3%,到2020年,PCB全球市場規(guī)模將達到610億美元;中國在2020年PCB產(chǎn)值有望達到311億美元,在2015-2020年期間,年復合增長率略高于國際市場,為3.5%。三、光刻膠涂覆(PhotoresistCoating)光刻膠涂覆通常的步驟是在涂光刻膠之前,先在900-1100度濕氧化。得益于PCB行業(yè)發(fā)展剛需,我國PCB光刻膠需求空間巨大。
全球市場
目前,光刻膠單一產(chǎn)品市場規(guī)模與海外巨頭公司營收規(guī)模相比較小,光刻膠僅為大型材料廠商的子業(yè)務。但由于光刻膠技術門檻高,就某一光刻膠子行業(yè)而言,僅有少數(shù)幾家供應商有產(chǎn)品供應。
由于光刻膠產(chǎn)品技術要求較高,中國光刻膠市場基本由外資企業(yè)占據(jù),國內企業(yè)市場份額不足40%,高分辨率的KrF和ArF光刻膠,其核心技術基本被日本和美國企業(yè)所壟斷,產(chǎn)品也基本出自日本和美國公司,包括陶氏化學、JSR株式會社、信越化學、東京應化工業(yè)、Fujifilm,以及韓國東進等企業(yè)。芯片光刻的流程詳解(二)所謂光刻,根據(jù)維基百科的定義,這是半導體器件制造工藝中的一個重要步驟,該步驟利用曝光和顯影在光刻膠層上刻畫幾何圖形結構,然后通過刻蝕工藝將光掩模上的圖形轉移到所在襯底上。
而細化到半導體用光刻膠市場,國內企業(yè)份額不足30%,與國際水平存在較大差距。超過80%市場份額掌握在日本住友、TOK、美國陶氏、美國futurrex等公司手中,國內公司中,蘇州瑞紅與北京科華實現(xiàn)了部分品種的國產(chǎn)化,但是整體技術水平較低,僅能進入8英寸集成電路生產(chǎn)線與LED等產(chǎn)線。從對準原理上及標記結構分類,對準技術從早期的投影光刻中的幾何成像對準方式,包括視頻圖像對準、雙目顯微鏡對準等,一直到后來的波帶片對準方式、干涉強度對準、激光外差干涉以及莫爾條紋對準方式。