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流量控制器的工作壓差范圍是個(gè)什么概念?
質(zhì)量流量控制器(MFC)中設(shè)置有一個(gè)氣體流量調(diào)節(jié)閥門(mén), 閥門(mén)能使通過(guò)控制器的流量從零調(diào)節(jié)到測(cè)量的滿(mǎn)量程, 在工作的過(guò)程當(dāng)中, 控制器的入口和出口之間會(huì)產(chǎn)生一個(gè)氣壓降, 即壓差。MFC的工作壓差范圍通常為0.1~0.3MPa, 若壓差低于值(0.1 MPa), 有可能控制達(dá)不到滿(mǎn)量程值; 若高于值(0.3MPa), 有可能關(guān)閉時(shí)流量不能小于2%F.S。用戶(hù)使用MFC時(shí), 無(wú)論用戶(hù)工作的反應(yīng)室是真空還是高壓, 應(yīng)做到使MFC進(jìn)出氣兩端的壓差保持在所要求壓差范圍之內(nèi), 并且要求氣壓要相對(duì)穩(wěn)定。此熱傳遞正比于氣體質(zhì)量流量,即供給電流與氣體質(zhì)量流量有一對(duì)應(yīng)的函數(shù)關(guān)系來(lái)反映氣體的流量。
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質(zhì)量流量控制器原理
質(zhì)量流量控制器是利用熱傳導(dǎo)原理測(cè)量流體流量的儀表,質(zhì)量流量控制器采用恒溫差法對(duì)氣體質(zhì)量流量進(jìn)行準(zhǔn)確測(cè)量。質(zhì)量流量控制器具有體積小,數(shù)字化程度高,安裝方便,測(cè)雖確等優(yōu)點(diǎn)。質(zhì)量流量控制器可用于玻璃、太陽(yáng)能、大氣監(jiān)測(cè)、工業(yè)制作、石油石化、煤炭冶金、制氣配氣、環(huán)保等各種工業(yè)企業(yè)的氣體管路分配控制、烴類(lèi)氣體、可燃性氣體、煙道氣等氣體的質(zhì)量流量或?qū)嶋H工況的體積流量測(cè)量和監(jiān)控。流量器安裝使用注意事項(xiàng)前置直管段1)熱分布式本類(lèi)儀表對(duì)上下游配管布置不敏感,通常認(rèn)為無(wú)上下游直管段長(zhǎng)度要求。
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流量控制器
氣體質(zhì)量流量單位一般以sccm(Standard Cubic Centimeter per Minute,每分鐘標(biāo)準(zhǔn)毫升)和slm(Standard Liter per Minute,每分鐘標(biāo)準(zhǔn)升)來(lái)表示。這意味著,這種儀表在不同的使用條件下,指示的流量均是標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的流量。標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)規(guī)定為: 氣壓—101325Pa (760mm Hg); 溫度—0℃ (273.15K)。流量控制器質(zhì)量流量控制器在正常工作時(shí),流體在旋轉(zhuǎn)的管內(nèi)流動(dòng)時(shí)會(huì)對(duì)管壁產(chǎn)生一個(gè)力,它是科里奧利在1832年研究水輪機(jī)時(shí)發(fā)現(xiàn)的,簡(jiǎn)稱(chēng)科氏力。這是這種儀表和其它流量計(jì)的重要區(qū)別,也是sccm﹑slm不同于mL/min﹑L/min 之處。