凈化空調的通風風管和部件應選用

凈化空調的通風風管和部件應選用鍍辭鋼板，風管內表層一定是平整光滑的，不可在管內加固改造通風風管，咬接應選用聯(lián)合角咬口，接縫處一定要涂密封膠。通風風管連接不宜采用內法蘭。通風風管一定要設密封清掃孔，總管上需有風量測定孔(支干管上依據(jù)需要設置），過濾器前后要有測壓孔。防爆區(qū)通風排風管咬口縫要用焊錫密封。風管安裝以后、保溫之前應開展漏風常規(guī)檢查。送回風管用漏光法常規(guī)檢查應無漏光，系統(tǒng)空調器漏風率不宜超過2%。擦拭空調系統(tǒng)內表層選用不容易掉纖維的材料。

潔凈室(區(qū))內設置真空泵時,應符合下列規(guī)定

潔凈室（區(qū)）內設置真空泵時，應符合下列規(guī)定：1．電子工廠裝修對于傳輸、自燃化學品或高濃度氧氣的真空泵，應采用不燃泵油，并應配置氮氣吹掃。氮氣吹掃控制閥應與生產工藝設備操作系統(tǒng)聯(lián)鎖。2．對傳輸含有可燃氣體的真空泵，可燃氣體濃度超過下限的20%時，應設尾氣處理裝置，在排入排氣系統(tǒng)前應去除或稀釋可燃氣體組分。3．使用油潤滑的真空泵應設置除油裝置，除油后尾氣應排入排氣系統(tǒng)。

工藝氣體種類多,純度高,并且有毒

工藝氣體種類多，純度高，并且有毒。安全問題突出，為保證系統(tǒng)的安全和穩(wěn)定可靠，建議采用進口成熟產品。因為 MOCVD 生長使用的源是、、毒性很大的物質，并且要生長多組分、大面積、薄層和超薄層異質材料，因此在MOCVD 系統(tǒng)的設計思想上，通常要考慮系統(tǒng)密封性要好，流量、溫度控制要，組分變換要迅速，系統(tǒng)要緊湊等。核心工作是氣體輸運系統(tǒng)和尾氣處理系統(tǒng)。