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金剛石線切割
在國際上,游離磨料線鋸切割在單晶硅、多晶硅的切割中占主流地位,但是這種技術(shù)存在明顯的不足: 線鋸走絲速度低,通?!?0m/S,切割效率低, 鋸絲使用壽命短。切割大尺寸坯料時磨料難以進入到長而深的切縫,磨漿的處理和回收成本較高。而隨著微電子和光電子技術(shù)飛速發(fā)展,對半導體和光電晶體的切割加工提出更高要求。因此,近來出現(xiàn)金剛石線切割代替游離磨料線鋸的發(fā)展趨勢。
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金鋼線切割專用設備
目前,行業(yè)內(nèi)硅片生產(chǎn)企業(yè)進行金鋼線切割技術(shù)升級改造的方案主要有兩種:
1,,即在現(xiàn)有的傳統(tǒng)砂漿線設備基礎上,通過對設備內(nèi)部軟硬件進行升級改造,從而滿足金鋼線切割工藝。
2.改造方案是直接采購金鋼線切割專用設備。
基于金剛線本身性能與普通鋼線的差異,金剛線切割對切片機的設備提出了更高的要求。因此現(xiàn)有的主流砂漿線切割設備在不進行改造的前提下,不能使用金剛線切割。
硅片切割廠家
砂漿切割設備改造為金剛線切割設備的優(yōu)點是,投資小,每臺設備的改造費用約60萬元,可有效利用現(xiàn)有的設備,避免原有設備的閑置與浪費。目前,該方案適用于行業(yè)內(nèi)部分近期無新增硅片切割項目的硅片切割廠家。金剛石線切割機的選?。阂鶕?jù)切割對象、規(guī)格大小、生產(chǎn)率、切割工藝等具體情況制訂線鋸機的結(jié)構(gòu)方案。由于是在原有的砂漿線設備基礎上進行改造,因此改造設備相比專用設備,其切割效率及品質(zhì)成本仍存在一定的差距,且隨著金剛線細線化技術(shù)的不斷發(fā)展,專用設備的優(yōu)勢將越來越明顯。