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國內(nèi)半導體制造和光伏電池上游加工,包括:去頭尾、截斷、開方等的加工,大部分仍然采用金剛石帶鋸設備。加工表面粗糙,浪費材料,金剛石帶鋸價格也不菲。
實際上,應該使用金剛石線鋸機切割加工,能得到更高的質量。
元素環(huán)形金剛石線切割機的主要性能:
1. 切割晶體尺寸: 300*300 mm
2. 切割線線速度: 小于60 m/s
3. 工作臺進給速度: 500 mm/s
4. 晶片表面粗糙度: Ra≤ 0.2μm
線切割設備
IC器件的基礎性材料是半導體硅單晶材料,因此,世界各國對硅單晶材料的消耗量反映了一個國家的IC制造業(yè)的規(guī)模和工藝水平,同時各國硅材料生產(chǎn)及硅圓片生產(chǎn)水平也代表了一個國家IC工業(yè)的材料基礎的實力。
線切割設備廣泛應用于太陽能電池用單晶硅、多晶硅切割;功能陶瓷、人工晶體的切割。其加工速度快,切面質量好,被市場認可。
精密切割機
金剛石線切割機的選擇:
當切割樣品較小,切割深度較小時通常可選用小型金剛石線切割機。
市場上有專為材料研究人員而設計,用于脆性材料樣品的精密切割機??捎糜诟鞣N不同硬度材料的切割,特別是適用于脆性、易解理的晶體切割;操作簡便,加工質量優(yōu)良;設備小巧,無需占用大面積位置。
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