金剛線切割技術(shù)

金剛線切割技術(shù)也被稱為固結(jié)磨料切割技術(shù)。它是利用電鍍或樹脂粘結(jié)的方法將金剛石磨料附著在鋼線表面，將金剛線直接作用于硅棒或硅錠表面產(chǎn)生磨削，達(dá)到切割的效果。

金剛線切割具有切割速度快，切割精度高，材料損耗低等特點(diǎn)。切割線的技術(shù)突破是硅片加工成本下降的重要途徑。金剛石線切割速度是普通鋼線的2 倍，因此單位產(chǎn)量的折舊、人工和能源成本將降低一半。

線切割設(shè)備

切割液 

金剛線切割設(shè)備使用的切割液主要作用是冷卻，所以主要采取冷卻水或油基冷卻。2,、樹脂型：樹脂金剛石線是在原有鍍銅超細(xì)鋼絲線上噴涂一種增強(qiáng)耐磨合金、特種樹脂和金剛石超微粉的切割線，主要應(yīng)用于單晶硅、多晶硅、藍(lán)寶石、水晶、陶瓷和半導(dǎo)體材料的切割上，能取代目前碳化硅砂漿法，解決了環(huán)境污染。使用水做切割液可以混合部分粘合劑，減輕清洗工序工作強(qiáng)度；另一個作用是切損硅料容易回收。油基冷卻主要是乙二醇做切割液，原理上乙二醇基的切割方法也有助于硅料的回收，但是需要相對復(fù)雜的化學(xué)方法處理，提高了回收成本。

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高速切割設(shè)備

切割行程的設(shè)置：

切割行程=樣品的長度 5mm。樹脂結(jié)合劑鋸線制造方法與樹脂結(jié)合劑砂輪的制造類似,直接將含有金剛石磨料的樹脂混合物涂敷在金屬絲表面,經(jīng)過干燥后再固化。為保證將樣品切斷，通常會在樣品的實(shí)際高度之上增加5㎜。當(dāng)要求對樣品進(jìn)行開槽時，實(shí)際切割行程應(yīng)與開槽深度相同，為保證停止切割時所開槽口深度達(dá)到要求，當(dāng)切割行程達(dá)到設(shè)定行程時應(yīng)暫停切割，但主軸帶動金剛石切割線繼續(xù)運(yùn)行一段時間，從而使樣品未達(dá)到切割深度的位置繼續(xù)被切割，直到樣品被切割部位每一點(diǎn)都達(dá)到所要求的切割深度。