金剛石線切割設(shè)備

金剛石線切割設(shè)備成為研究和發(fā)展的主流趨勢(shì)，本文介紹國(guó)外硅片切割設(shè)備研究的新進(jìn)展以及國(guó)內(nèi)發(fā)展?fàn)顩r，并介紹筆者參與研制的金剛石環(huán)形線鋸機(jī)的功能、特點(diǎn)和設(shè)計(jì)心得體會(huì)及金剛石單線和環(huán)線切割機(jī)應(yīng)用前景展望。

目前，硬脆性材料，如單晶硅、多晶硅、寶石、玻璃、陶瓷等，具有優(yōu)良、穩(wěn)定的物理和化學(xué)性能(如抗腐蝕性、電絕緣性,耐磨損性等)，在電子、光學(xué)及其它領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用、，特別是單晶硅、多晶硅、陶瓷材料被廣泛用于太陽(yáng)能光伏產(chǎn)業(yè)、半導(dǎo)體、真空電鍍等高精端產(chǎn)業(yè)中。砂漿切割設(shè)備改造為金剛線切割設(shè)備的優(yōu)點(diǎn)是，投資小，每臺(tái)設(shè)備的改造費(fèi)用約60萬(wàn)元，可有效利用現(xiàn)有的設(shè)備，避免原有設(shè)備的閑置與浪費(fèi)。伴隨半導(dǎo)體、光伏材料技術(shù)的發(fā)展，需求量不斷增加，切割加工量大幅增長(zhǎng)，由于硬脆材料硬度高、脆性大，因此加工難度較大。

線切割設(shè)備

切割液 

金剛線切割設(shè)備使用的切割液主要作用是冷卻，所以主要采取冷卻水或油基冷卻。電子科大,川大,交大,瑞仕萊斯等科研院校,從微觀分子結(jié)構(gòu)入手,從本質(zhì)上完善表面處理的原理和工業(yè)應(yīng)用工藝的開(kāi)發(fā)環(huán)形金剛石線鋸機(jī)在磁性材料的切割方面有著絕極大的優(yōu)勢(shì)，切割NeFeB,截面63*36mm用時(shí)6分鐘，進(jìn)給速度5mm/min。使用水做切割液可以混合部分粘合劑，減輕清洗工序工作強(qiáng)度；另一個(gè)作用是切損硅料容易回收。油基冷卻主要是乙二醇做切割液，原理上乙二醇基的切割方法也有助于硅料的回收，但是需要相對(duì)復(fù)雜的化學(xué)方法處理，提高了回收成本。

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精密切割機(jī)

金剛石線切割機(jī)的選擇：

當(dāng)切割樣品較小，切割深度較小時(shí)通?？蛇x用小型金剛石線切割機(jī)。

市場(chǎng)上有專為材料研究人員而設(shè)計(jì)，用于脆性材料樣品的精密切割機(jī)?？捎糜诟鞣N不同硬度材料的切割，特別是適用于脆性、易解理的晶體切割；操作簡(jiǎn)便，加工質(zhì)量?jī)?yōu)良；設(shè)備小巧，無(wú)需占用大面積位置。

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