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5、使用低檔設(shè)備
GMP國(guó)標(biāo)規(guī)定:潔凈度大于或等于10萬(wàn)級(jí),必須采用三級(jí)過(guò)濾,即初效、中效、高的效過(guò)濾器。有些施工方利用客戶不太懂行的情況,使用功率較低的通風(fēng)機(jī)組或者過(guò)濾器,很容易導(dǎo)致潔凈度不合格。
6、無(wú)塵車間清潔不徹底
GMP無(wú)塵車間在檢測(cè)前必須徹底清潔。工作人員必須穿無(wú)塵服進(jìn)入,清洗劑用純水、有機(jī)的溶劑等。防靜電的,需用沾有防靜電液的抹布擦拭。如果沒(méi)有按要求來(lái)清潔或者清潔不徹底也是容易檢測(cè)不合格的。
以對(duì)防微振及潔凈生產(chǎn)(Produce)環(huán)境有嚴(yán)格要求的慣導(dǎo)實(shí)驗(yàn)(experiment)室為例,貫導(dǎo)實(shí)驗(yàn)(experiment)室的場(chǎng)地應(yīng)避開(kāi)如沿海地區(qū)、地振活動(dòng)頻繁地區(qū)、斷層地帶、雷雨及龍卷鳳區(qū)、飛機(jī)飛行區(qū)、公路干線、鐵路沿線、大型河流及湖泊區(qū)、城市工業(yè)區(qū)及人口密集區(qū)、常年冰凍區(qū)、礦區(qū)、森林區(qū)??梢愿鶕?jù)這些原則,在較大的地域范圍初選,再在初選分析對(duì)比的基礎(chǔ)上進(jìn)行精選,直至終確定。對(duì)于集成電路工廠的建設(shè),其微振動(dòng)測(cè)試尤為重要。根據(jù)集成電路工業(yè)潔凈車間的特點(diǎn),其振動(dòng)測(cè)試根據(jù)工廠建設(shè)的建設(shè)階段,一般分四次進(jìn)行。風(fēng)管要求經(jīng)濟(jì)與效率并重在集中或凈化空調(diào)系統(tǒng)中,對(duì)風(fēng)管的要求是既經(jīng)濟(jì)又能有效地送風(fēng)。
凈化車間(潔凈室)的凈化原理:
氣流→初效空氣處理→空氣調(diào)節(jié)→中效空氣處理→風(fēng)機(jī)加壓送風(fēng)→凈化送風(fēng)管道→有效送風(fēng)口→潔凈室→帶走塵埃(細(xì)菌)→回風(fēng)夾道→新風(fēng)、初效空氣處理。
重復(fù)以上過(guò)程,即可達(dá)到凈化目的。
技術(shù)參數(shù):
換氣次數(shù):十萬(wàn)級(jí)15-20次小時(shí);萬(wàn)級(jí)20-30次小時(shí);千級(jí)50-55次小時(shí);
百級(jí)操作臺(tái)斷面風(fēng)速0.25-0.35m/s;
壓差:主車間對(duì)相鄰潔凈房間≥5Pa;潔凈房間對(duì)非潔凈區(qū)≥10Pa;
溫度:17℃-26℃;相對(duì)濕度:45-75%(RH);
噪聲≤65dB(A);
新風(fēng)補(bǔ)充量:總送風(fēng)量的20%-30%;
照度:≥300Lux。