電子行業(yè)對(duì)萬(wàn)級(jí)無(wú)塵車間的潔凈度等級(jí)要求很高，風(fēng)量、溫度、濕度、壓差、設(shè)備排風(fēng)、照度等都需在控制范圍內(nèi)，對(duì)靜電的要求極其嚴(yán)格。因此，保持萬(wàn)級(jí)無(wú)塵車間的濕度尤為重要。太過(guò)干燥的廠房?jī)?nèi)容易產(chǎn)生靜電，造成系統(tǒng)集成損壞。一般來(lái)說(shuō)，萬(wàn)級(jí)無(wú)塵車間電子廠房的溫度應(yīng)控制在22°C左右，相對(duì)濕度控制在50%-60%之間。這樣可以有效消除車間內(nèi)靜電，并使人感覺(jué)舒適。在電子行業(yè)中，芯片生產(chǎn)車間、集成電路無(wú)塵室屬于萬(wàn)級(jí)無(wú)塵車間的重要組成部分，主要以控制微粒和浮塵為主要對(duì)象，同時(shí)對(duì)環(huán)境的溫濕度、新鮮空氣量、噪音等也作了嚴(yán)格的規(guī)定。

在這方面國(guó)內(nèi)外的科研、設(shè)計(jì)和制造廠家都做了大量研究開(kāi)發(fā)工作，取得了許多可用的成果，但是國(guó)產(chǎn)過(guò)濾器的產(chǎn)品與國(guó)際產(chǎn)品相比仍有較大差距，尤其是用于比5級(jí)(100級(jí))和要求更嚴(yán)格的潔凈室用過(guò)濾器、超過(guò)濾器的質(zhì)量、檢測(cè)方法等方面存在著較大差距。我國(guó)的GB13354-92《空氣過(guò)濾器》中規(guī)定，過(guò)濾器是采用鈉焰法檢測(cè)，其效率達(dá)到99.9%以上的過(guò)濾器；或?qū)α?0.15m的微粒采用粒子計(jì)數(shù)測(cè)定法，其效率達(dá)到99.999%以上的過(guò)濾器。

風(fēng)淋室、更衣室、凈化處理間是車間凈化系統(tǒng)的三個(gè)基本組成部分。風(fēng)淋室是進(jìn)出潔凈區(qū)的通道，利用噴出的高速潔凈氣流，可以有效并且迅速地清除人體所帶的塵埃及細(xì)菌。凈化處理間選用夾層彩鋼板隔離空間以及墻壁，上部彩鋼天花吊頂，地板用環(huán)氧樹(shù)脂鋪成。無(wú)塵潔凈車間工程的作用是控制產(chǎn)品所接觸的大氣的潔凈度以及溫濕度，使產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造，此空間我們稱之為無(wú)塵凈化車間。