在相對濕度較高的環(huán)境中，濃縮水形的毛細管力在顆粒和表面之間形成了連接鍵，可以增加顆粒與硅質表面的黏附力。相對濕度小于50%時并不重要，但當相對濕度在70%左右時，就成為顆粒之間黏附的主要力量。 到目前為止，在半導體無塵車間、潔凈室中迫切需要適當控制的是光刻膠的敏感性。由于光刻膠對相對濕度極為敏感的特性，它對相對濕度的控制范圍的要求是嚴格的水準。 實際上，相對濕度和溫度對于光刻膠穩(wěn)定性以及的尺寸控制都是很關鍵的。甚至是在恒溫條件下，光刻膠的粘性將隨著相對濕度的上升而迅速下降。當然，改變粘性，就會改變由固定組分涂層形成的保護膜的厚度。相對濕度的3%的變異將使保護厚度改變59.2A。 此外，在高的相對濕度環(huán)境下，由于水分的吸收，使烘烤循環(huán)后光刻膠膨脹加重。光刻膠附著力同樣也可 以受到較高的相對濕度的影響;較低的相對濕度(約30%)使光刻膠附著更加容易，甚至不需要聚合改性劑，如六二硅氮烷(HMDS)。

人身凈化路線為了在操作中盡量減少人活動產生的污染

人身凈化路線 為了在操作中盡量減少人活動產生的污染，人員在進入潔凈區(qū)之前，必須更換潔凈服并吹淋、洗澡、消毒。這些措施即“人身凈化”簡稱“人凈”。 人凈用房中更換潔凈服的房間應予送風，并對入口側等其他房間保持正壓，對廁所、淋浴保持少許正壓，而廁所、淋浴應保持負壓。 3、物料凈化路線 各種物件在送入潔凈區(qū)前必須經(jīng)過凈化處理，簡稱“物凈”。 物料凈化路線與人凈路線應分開，如果物料與人員只能在同一處進入潔凈室，也必須分門而入，物料并先經(jīng)過粗凈化處理。 對于生產流水線不強的場合在物料路線中間可設中間庫。 如果生產流水線很強，則采用直通式物料路線，有時還需要在直通路線中間設多次凈化、傳遞設施。 在系統(tǒng)設計上，物凈用房的粗凈化和精凈化階段由于會吹落很多生微粒，所以相對潔凈區(qū)應保持負壓或零壓，如果污染危險性大則對入口方向也要保持負壓。

從源頭加強凈化工程設計的控制1、凈化車間的規(guī)劃首先要加強對設計單位工程圖紙質量的外部監(jiān)督與審查。像工程質監(jiān)站監(jiān)督施工質量一樣，審查、監(jiān)督設計質量。這直接關乎凈化工程公司成本價格。 2、制訂設計獎懲制度。設計圖紙被審查中心確認為設計的應給設計單位以特殊榮譽，對設計人員實施獎勵。 3、制訂“限額設計”標準。限額設計是工程建設過程中行之有效的控制方法，也是控制投資規(guī)模的有效措施之一。因此，盡快組織有關部門，按凈化車間的不同類型和規(guī)模和潔凈度要求，制訂出適宜的限額設計標準，作為設計部門的“對照表”是設計管理工作中的一項重要任務。 4、以專業(yè)的技術工藝以及合理的設備材料，對凈化工程進行技術指標優(yōu)化，提高凈化工程整體效益。