真空泵真空設備檢漏維修

深圳銳誠真空技術有限公司座落于廣東深圳，在北京、浙江設有售后辦事處。真空檢漏設備廠家真空檢漏設備廠家真空泵的作用就是從真空室中抽除氣體分子，降低真空室內(nèi)的氣體壓力，使之達到要求的真空度。是一家專門從事各種真空應用設備制造，集研發(fā)、生產(chǎn)和銷售于一體的民營高科技企業(yè)。主營產(chǎn)品：真空設備，檢漏儀，微水儀，lng抽真空系統(tǒng)，非標真空設備，真空標準件以及真空設備的維護保養(yǎng)。

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檢漏儀原理圖中14 檢漏口的位置通?？梢赃B接在圖1 中虛線A 或B 的位置，因為這兩處均能達到檢漏儀檢漏口小于1000 帕 的工作要求，對于粗檢兩個位置都能夠達到要求，但對于系統(tǒng)的小漏，位置的選擇則相當關鍵，對于核級鋯鑄錠的生產(chǎn)來說，當漏率介于0.65~1.5帕/min 時更要注意位置的選擇。主要原因是由于：該型號的檢漏儀分為檢測大漏、中漏和微漏，當檢漏口14的壓強100 帕<Pa<1000 Pa 時檢漏儀V1 和V2打開，氦氣部分分子沿分子泵排氣口逆流進入質(zhì)譜室，因此只有當氦氣分子較多時才能被檢測到；當壓強10 帕<Pa<100 Pa 時，檢漏儀關閉V2，打開V3，V1 閥，此時氦氣分子較多沿4 處分子泵進氣口1 逆流進入質(zhì)譜室中，可以檢測到系統(tǒng)的中漏；當Pa <10帕 時，檢漏儀關閉V3，打來V4、V1 閥，此時氦氣分子大部分沿15 處分子泵進氣口2 逆流進入質(zhì)譜室中，達到檢測微漏的效果。是一家專門從事各種真空應用設備制造，集研發(fā)、生產(chǎn)和銷售于一體的民營高科技企業(yè)。

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真空泵

深圳銳誠真空技術有限公司座落于廣東深圳，在北京、浙江設有售后辦事處。虛漏主要是由于材料放氣、解吸、凝結(jié)氣體的再蒸發(fā)等原因引起的氣體壓力升高的現(xiàn)象，主要通過長時間的抽空將發(fā)出的氣體抽出系統(tǒng)外便可以正常使用和生產(chǎn)。是一家專門從事各種真空應用設備制造，集研發(fā)、生產(chǎn)和銷售于一體的民營高科技企業(yè)。主營產(chǎn)品：真空設備，檢漏儀，微水儀，lng抽真空系統(tǒng)，非標真空設備，真空標準件以及真空設備的維護保養(yǎng)。真空檢漏設備廠家真空檢漏設備廠家

利用泵腔容積的周期性變化來完成吸氣和排氣過程的一種真空泵，氣體在排出前被壓縮。這種泵分為往復式及旋片式兩種：（1） 往復式真空泵：是利用泵腔內(nèi)活塞做往復式運動，將氣體吸入、壓縮并排出。真空檢漏設備廠家真空檢漏設備廠家真空自耗電弧爐熔煉作為公司核級鋯材生產(chǎn)的第Yi道工序，其要求的真空度及漏氣率非常嚴格，只有當漏氣率達到0。因此，又稱為活塞式真空泵。（2） 旋片式真空泵：是利用泵腔內(nèi)活塞做旋轉(zhuǎn)運動，將氣體吸入、壓縮并排出。

真空設備檢漏

深圳銳誠真空技術有限公司座落于廣東深圳，在北京、浙江設有售后辦事處。一般來講，系統(tǒng)的極限真空度比系統(tǒng)的工作真空度低20%，比前級泵的極限真空度低50%。是一家專門從事各種真空應用設備制造，集研發(fā)、生產(chǎn)和銷售于一體的民營高科技企業(yè)。主營產(chǎn)品：真空設備，檢漏儀，微水儀，lng抽真空系統(tǒng)，非標真空設備，真空標準件以及真空設備的維護保養(yǎng)。

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真空設備氦檢漏

深圳銳誠真空技術有限公司座落于廣東深圳，在北京、浙江設有售后辦事處。（轉(zhuǎn)向按防護罩指示方向）⑺對于有冷卻水的真空泵，按規(guī)定接通冷卻水。是一家專門從事各種真空應用設備制造，集研發(fā)、生產(chǎn)和銷售于一體的民營高科技企業(yè)。主營產(chǎn)品：真空設備，檢漏儀，微水儀，lng抽真空系統(tǒng)，非標真空設備，真空標準件以及真空設備的維護保養(yǎng)。

(1)工作原理與結(jié)構

   氦質(zhì)譜檢漏儀由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規(guī)組成的質(zhì)譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成。

   ①單級磁偏轉(zhuǎn)型氦質(zhì)譜檢漏儀

   現(xiàn)以HZJ—l型儀器為例．介紹單級磁偏轉(zhuǎn)型氦質(zhì)譜檢漏儀。

   在質(zhì)譜室內(nèi)有：由燈絲、離化室、離子加速極組成離子源；由外加均勻磁場、擋板及出口縫隙組成分析器；由抑制柵、收集極及高阻組成收集器；級放大靜電計管和冷陰極電離規(guī)。。

   在離化室N內(nèi)，氣體電離成正離子，在電場作用下離子聚焦成束。并在加速電壓作用下以一定的速度經(jīng)過加速極S1的縫隙進入分析器。在均勻磁場的作用下，具有一定速度的離子將按圓形軌跡運動，其偏轉(zhuǎn)半徑可計算。

   可見，當B和U為定值時，不同質(zhì)荷比me-1的離子束的偏轉(zhuǎn)半徑R不同。儀器的B和R是固定的，調(diào)節(jié)加速電壓U使氦離子束恰好通過出口縫隙S2，到達收集器D，形成離子流并由放大器放大。使其由輸出表和音響指示反映出來；而不同于氦質(zhì)荷比的離子束[(me-1)1(me-1)3]因其偏轉(zhuǎn)半徑與儀器的R值不同無法通過出口縫隙S2，所以被分離出來。100Pa時，檢漏儀關閉V2，打開V3，V1閥，此時氦氣分子較多沿4處分子泵進氣口1逆流進入質(zhì)譜室中，可以檢測到系統(tǒng)的中漏。(me-1)2=4，即He 的質(zhì)荷比，除He 之外，C卅很少，可忽略。

   ②雙級串聯(lián)磁偏轉(zhuǎn)型氦質(zhì)譜檢漏儀

  由于兩次分析，減少了非氦離子到達收集器的機率。并且，如在兩個分析器的中間，即圖中的中間縫隙S2與鄰近的擋板間設置加速電場，使離子在進入第二個分析器前再次被加速。由于氣缸的左腔體積不斷增大，氣缸內(nèi)氣體的密度減少，而形成抽氣過程，此時容器中的氣體經(jīng)過吸氣閥5進入泵體左腔。那些與氦離子動量相同的非氦離子，雖然可以通過個分析器，但是，經(jīng)第二次加速進入第二個分析器后，由于其動量與氦離子的不同而被分離出來。由于二次分離，儀器本底及本底噪聲顯著地減小，提高了儀器靈敏度。

   ③逆流氦質(zhì)譜檢漏儀

   逆流氦質(zhì)譜檢漏儀是根據(jù)油擴散泵或分子泵的壓縮比與氣體種類有關的原理制成的。例如，多級油擴散泵對氦氣的壓縮比為102；對空氣中其它成分的壓縮比為lO4～106。檢漏時，通過被檢件上漏孔進入主抽泵前級部位的氦氣，仍有部分返流到質(zhì)譜室中去，并由儀器的輸出指示示出漏氣訊號。一個靜渦旋盤與一個動渦旋盤組成的一對渦旋盤付構成了渦旋無油真空的基本抽氣機構。這就是逆流氦頃質(zhì)譜檢漏儀的工作原理。