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凈化車間是指將一定空間范圍內(nèi)的空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等污染物排除,并將室內(nèi)之溫度、濕度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi),而所給予特別設(shè)計(jì)之房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化,其室內(nèi)均能俱有維持原先所設(shè)定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。
凈化車間之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸的大氣的潔凈度以及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造,此空間我們稱之為凈化車間。按照國際慣例,無塵凈化級別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標(biāo)準(zhǔn)的粒子數(shù)量來規(guī)定。也就是說所謂無塵并非100%沒有一點(diǎn)灰塵,而是控制在一個非常微量的單位上。
溫濕度觀察要求:觀察溫度計(jì)、濕度計(jì)上顯示的溫濕度是否在規(guī)定的范圍內(nèi),并作為實(shí)驗(yàn)原始數(shù)據(jù)記錄在案。一旦發(fā)現(xiàn)問題一定要立即尋找原因,及時報修和報告實(shí)驗(yàn)室主管,并將報修原因和結(jié)果記錄歸檔。凈化車間施工流程中的搬運(yùn)和施工完成后搬運(yùn)工作,每一個搬運(yùn)過程都要注意,并采取相應(yīng)的防護(hù)措施。以確保凈化車間建設(shè)的順利完成。
施工中會出現(xiàn)各種矛盾,需要施工方與設(shè)計(jì)、建設(shè)方合作,在保證潔凈室施工質(zhì)量的前提下進(jìn)行合理變更。如在對某潔凈室改擴(kuò)建工程檢查中發(fā)現(xiàn),原設(shè)計(jì)的風(fēng)管尺寸在主體大樓樓層高度受限制的吊頂層內(nèi)根本無法施工,后經(jīng)施工方與設(shè)計(jì)人員和建設(shè)方協(xié)調(diào),在不影響工程質(zhì)量的前提下,將風(fēng)管尺寸從方形變?yōu)楸庑?,既滿足了風(fēng)量要求,又保證了施工吊頂高度的要求。
為生物顆粒污染增添了一道安全屏障。通過隔離措施將潔凈室變?yōu)樨?fù)壓區(qū),有效地防止了危險生物顆粒的污染。
設(shè)計(jì)中還要注意設(shè)備的噪音控制、照明設(shè)備、風(fēng)速控制等方面的要求。
生物凈化車間設(shè)計(jì)的要點(diǎn),生物凈化車間按照生產(chǎn)和科研可以分為生物凈化車間和生物學(xué)安全凈化車間兩種。
在潔凈室設(shè)計(jì)中,要控制好靜壓差,就需要提供一定的正壓或者負(fù)壓,可以采用壓差式電動風(fēng)量調(diào)節(jié)器、設(shè)置阻尼層、調(diào)節(jié)送風(fēng)量與回風(fēng)量和排風(fēng)量的大小等方式。針對影響因素的方法就是對可能產(chǎn)生粉塵的生產(chǎn)設(shè)備采用封閉式除塵處理,對生產(chǎn)人員采用吹淋過濾處理,對通風(fēng)設(shè)備設(shè)置過濾裝置。