種形式在小規(guī)模低等級要求的潔凈室車間設計中被廣泛應用，對于大面積高等級的潔凈車間則存在運行成本過高、占用空間過大等缺點。

第二種形式的設計可以滿足集成電路制造無塵車間大面積高等級的要求，但運行成本較高，并且潔凈室風速、風量調(diào)節(jié)困難，系統(tǒng)升級改造困難，因此操作靈活性很低。

第三種的FFU循環(huán)系統(tǒng)不僅節(jié)省運行空間、潔凈度安全性高、運行成本低，而且操作靈活性很高，可以在不影響生產(chǎn)的情況下隨時進行系統(tǒng)升級和調(diào)整，這些都能很好地滿足半導體制造的需求，因此在半導體制造業(yè)FFU循環(huán)系統(tǒng)逐漸成為很主要的凈化設計方案。

一個好的凈化工程公司可能會比一個普通的公司收取稍高的費用，但是它可以為用戶保證很佳的工程效果。一捏單扇平開凈化車間門的四邊縫隙中倒有三邊需作不同的處理，而且雙扇凈化車間門的中縫也是特殊構造。工程效果突出，既能保證工作的生產(chǎn)，又在節(jié)能方面給客戶帶來巨大利益。因此，有需要凈化工程服務的企業(yè)，必須選擇的潔凈車間凈化公司，以確保優(yōu)良的工程效果。　

一家的潔凈工程公司除了上述優(yōu)勢外，還善于站在用戶的角度來思考問題。外部水管路必須清潔干凈后，方可與本空調(diào)機組的換熱進、出水管路連接，以免將換熱器管路堵死。也就是說，公司會針對用戶的實際情況來推薦匹配的設備，而不是一味的推薦高大上的材料和凈化等級，這就有效的保證了用戶的利益。畢竟凈化等級越高，造價也越高，后期的維護成本也就高。

非工作時間采用值班風機運行，關閉系統(tǒng)中的送回風機。2倍進行考慮，務必注意承載體的強度和可靠性，否則將有重大隱患。非工作時間，送風機、回風機均停止運行，為了使系統(tǒng)停止運行后，避免室外污染空氣通過安徽車間凈化的圍護結(jié)構縫隙和由新風口經(jīng)回風道進入安徽車間凈化，破壞室內(nèi)的潔凈度而設置值班風機；值班風機的風量一般是按維持室內(nèi)要求的正壓值所需的換氣次數(shù)來考慮的，值班風機運行中所消耗的電能和處理空氣所消耗的冷、熱量要比系統(tǒng)運行時小得多，設有值班風機的凈化空調(diào)系統(tǒng)在非工作時，盡量使用值班風機運行，以達到更好的節(jié)能效果。

百級潔凈室規(guī)劃裝修參數(shù)規(guī)范：

　　1. 潔凈度：粒徑≥0.1微米的塵土粒子數(shù)量需求小于100個。

　　2. 壓差及溫濕度：溫度22℃±2;濕度55%±5;根本房間要滿布ffu，做高架地板。做MAU ffu DC系統(tǒng)。還有保持正壓，相鄰房間壓力梯度確保在10pa左右。

　　3. 照度：由于無塵潔凈室的工作內(nèi)容大多有精細的要求，而且又都是密閉性房子，所以，對照明一向有很高的要求。