凈化空調(diào)的通風(fēng)風(fēng)管和部件應(yīng)選用

凈化空調(diào)的通風(fēng)風(fēng)管和部件應(yīng)選用鍍辭鋼板，風(fēng)管內(nèi)表層一定是平整光滑的，不可在管內(nèi)加固改造通風(fēng)風(fēng)管，咬接應(yīng)選用聯(lián)合角咬口，接縫處一定要涂密封膠。通風(fēng)風(fēng)管連接不宜采用內(nèi)法蘭。通風(fēng)風(fēng)管一定要設(shè)密封清掃孔，總管上需有風(fēng)量測定孔(支干管上依據(jù)需要設(shè)置），過濾器前后要有測壓孔。防爆區(qū)通風(fēng)排風(fēng)管咬口縫要用焊錫密封。風(fēng)管安裝以后、保溫之前應(yīng)開展漏風(fēng)常規(guī)檢查。送回風(fēng)管用漏光法常規(guī)檢查應(yīng)無漏光，系統(tǒng)空調(diào)器漏風(fēng)率不宜超過2%。擦拭空調(diào)系統(tǒng)內(nèi)表層選用不容易掉纖維的材料。

潔凈室(區(qū))內(nèi)設(shè)置真空泵時,應(yīng)符合下列規(guī)定

潔凈室（區(qū)）內(nèi)設(shè)置真空泵時，應(yīng)符合下列規(guī)定：1．電子工廠裝修對于傳輸、自燃化學(xué)品或高濃度氧氣的真空泵，應(yīng)采用不燃泵油，并應(yīng)配置氮?dú)獯祾?。氮?dú)獯祾呖刂崎y應(yīng)與生產(chǎn)工藝設(shè)備操作系統(tǒng)聯(lián)鎖。2．對傳輸含有可燃?xì)怏w的真空泵，可燃?xì)怏w濃度超過下限的20%時，應(yīng)設(shè)尾氣處理裝置，在排入排氣系統(tǒng)前應(yīng)去除或稀釋可燃?xì)怏w組分。3．使用油潤滑的真空泵應(yīng)設(shè)置除油裝置，除油后尾氣應(yīng)排入排氣系統(tǒng)。

工藝氣體種類多,純度高,并且有毒

工藝氣體種類多，純度高，并且有毒。安全問題突出，為保證系統(tǒng)的安全和穩(wěn)定可靠，建議采用進(jìn)口成熟產(chǎn)品。因?yàn)?MOCVD 生長使用的源是、、毒性很大的物質(zhì)，并且要生長多組分、大面積、薄層和超薄層異質(zhì)材料，因此在MOCVD 系統(tǒng)的設(shè)計思想上，通常要考慮系統(tǒng)密封性要好，流量、溫度控制要，組分變換要迅速，系統(tǒng)要緊湊等。核心工作是氣體輸運(yùn)系統(tǒng)和尾氣處理系統(tǒng)。