光學(xué)微電子凈化工程一般包括：

1、 潔凈生產(chǎn)區(qū)

2、 潔凈輔助間（包括人員凈化用房、物料凈化用室和部分生活用室等）

3、 管理區(qū)（包括辦公、值班、管理和休息等）

4、 設(shè)備區(qū)（包括凈化空調(diào)系統(tǒng)應(yīng)用、電氣用房、高純水和高純氣用房、冷熱設(shè)備用房）

光學(xué)微電子凈化工程凈化原理

氣流→初效凈化→空調(diào)→中效凈化→風(fēng)機(jī)送風(fēng)→管道→凈化風(fēng)口→吹入房間→帶走塵埃細(xì)菌等顆粒 → 回風(fēng)百葉窗→初效凈化 重復(fù)以上過程，即可達(dá)到凈化目的。

光學(xué)微電子凈化工程凈化參數(shù)

換氣次數(shù)：100000級≥15次；10000級≥20次；1000≥30次。壓差：主車間對相鄰房間≥5Pa

平均風(fēng)速：10級、100級0.3－0.5m/s；溫度 冬季＞16℃；夏季 ＜26℃；波動(dòng)±2℃。

溫度45－65％；GMP車間濕度在50％左右為宜；電子車間濕度略高以免產(chǎn)生靜電。

噪聲≤65dB（A）；新風(fēng)補(bǔ)充量是總送風(fēng)量的10％－30％；照度300LX。

洗凈室、品質(zhì)檢查室凈化級別為7 級，采用新風(fēng)機(jī)組（MAU） 循環(huán)機(jī)組（AHU） 風(fēng)機(jī)過濾器單元（FFU)）的空調(diào)方式。采用的氣流形式為頂部FFU送風(fēng)，房間側(cè)下百葉風(fēng)口回風(fēng)。FFU滿布率為33%，洗凈室、品質(zhì)檢查室對NH4 、SQx濃度有要求，需在循環(huán)機(jī)組（AHU）內(nèi)增設(shè)化學(xué)過濾器。5級凈化間的氣流流程為：新回風(fēng)混合-化學(xué)過濾器（NH4 ）-化學(xué)過濾器（SQx）-中效過濾器-表冷器-送風(fēng)機(jī)-送風(fēng)管-送風(fēng)靜壓箱-風(fēng)機(jī)過濾器單元（FFU）-潔凈區(qū)-房間側(cè)下百葉回風(fēng)口-回風(fēng)管-新回風(fēng)混合。新風(fēng)接自其它系統(tǒng)共用的MAU-1、2新風(fēng)組。

除CP室外的潔凈室所需新風(fēng)采用2臺新風(fēng)機(jī)組（MAU-1、2）集中處理，新風(fēng)集中處理后送至各循環(huán)機(jī)組（AHU）。其氣流流程為：新風(fēng)入口-粗效過濾器-中效過濾器-預(yù)加熱器-表冷器-加熱器-潔凈蒸汽加濕-送風(fēng)機(jī)-送風(fēng)管-各循環(huán)空調(diào)機(jī)組（AHU）。

在一般建筑設(shè)計(jì)中，空調(diào)機(jī)是建筑物的附屬設(shè)備．它僅僅是補(bǔ)充完善建筑物的功能設(shè)備，但在潔凈廠房中凈化空調(diào)設(shè)備是實(shí)現(xiàn)空氣潔凈度的主要功能設(shè)備。當(dāng)然對工業(yè)潔凈室來說，生產(chǎn)工藝設(shè)備、工具和產(chǎn)品生產(chǎn)所需純水、純氣、高純化學(xué)品 以及穩(wěn)定的電力供應(yīng)等也都是潔凈廠房產(chǎn)品生產(chǎn)所必須的重要條件。

一、保濕性能好，強(qiáng)度高，隔熱保溫。

二、強(qiáng)度高：可作天花圍護(hù)布局板材承重，抗彎抗壓。

三、送風(fēng)過濾設(shè)備：高、效送風(fēng)口選用不銹鋼結(jié)構(gòu)，漂亮清洗，沖孔網(wǎng)板用烤漆鋁板，不生銹不粘塵，易清洗；送回風(fēng)管道用熱渡鋅板制成，貼凈化保溫棉；

四、地上處置：地上通常選用環(huán)氧自流坪地坪或耐磨塑料地板，如有防靜電需求的，可選用防靜電地板；

五、潔凈性能好，不會(huì)吸附塵埃，十分適用于凈化車間墻體，而且十分節(jié)能環(huán)保，表面漂亮，價(jià)錢實(shí)惠，用來建設(shè)車間或改造車間能大大的下降運(yùn)用成本。

六、施工便利，重量輕，凈化廠房隔墻、頂板通常多選用50mm厚的夾板；而且彩鋼板設(shè)備靈敏便利：施工周期短，潔凈車間能夠依據(jù)出產(chǎn)需求進(jìn)行調(diào)整，運(yùn)用彩鋼板墻體，車間改造施工愈加便利。

手術(shù)室凈化標(biāo)準(zhǔn)按國際標(biāo)準(zhǔn)分類：有代表性的手術(shù)室凈化檢測國際標(biāo)準(zhǔn)有以下六個(gè)：

   （1）《潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境——空氣潔凈度分級》；

   （2）《潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境——為保證始終符合ISO14644-1需要進(jìn)行的檢測和檢測的技術(shù)條件》；

   （3）《潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境——計(jì)量與測試的方法》；

   （4）《潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境——生物污染控制-總則》；

   （5）《潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境——生物污染控制-生物污染數(shù)據(jù)的評價(jià)與解釋》；

   （6）《單粒與光相互作用測定微粒尺度分布的方法的第四部分：潔凈空間用光散射氣浮微粒計(jì)數(shù)器》；