真空泵

深圳銳誠真空技術(shù)有限公司座落于廣東深圳，在北京、浙江設(shè)有售后辦事處。是一家專門從事各種真空應用設(shè)備制造，集研發(fā)、生產(chǎn)和銷售于一體的民營高科技企業(yè)。主營產(chǎn)品：真空設(shè)備，檢漏儀，微水儀，lng抽真空系統(tǒng)，非標真空設(shè)備，真空標準件以及真空設(shè)備的維護保養(yǎng)。真空檢漏設(shè)備公司真空檢漏設(shè)備公司無油干式機械真空泵(又簡稱干式機械泵)是指泵能從大氣壓力下開始抽氣，又能將被抽氣體直接排到大氣中去，泵腔內(nèi)無油或其他工作介質(zhì)，而且泵的極限壓力與油封式真空泵同等量級或者接近的機械真空泵。

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羅茨泵從國外羅茨泵生產(chǎn)情況來看，國外幾家大公司，如Leybold、Balzers、Alcatell、和ULVAC，他們各家羅茨泵的銷售額占全球羅茨泵銷售額的比例都沒超過5%，這5家總計才20%，羅茨泵產(chǎn)量不大，但國外羅茨泵的價格遠比國產(chǎn)泵要高得多。國內(nèi)外幾乎所有大型或小型的高真空和中真空系統(tǒng)，為了縮短抽氣時間、提高生產(chǎn)效率都配有羅茨泵，所以國產(chǎn)羅茨泵一定要在占領(lǐng)國內(nèi)市場基礎(chǔ)上設(shè)法進入國際市場另外，還要考慮到有些國家和地區(qū)的電源頻率為60Hz，更要確保羅茨泵在提高轉(zhuǎn)速的情況下長期運行的可靠性。國內(nèi)氣冷式直排大氣羅茨泵進展很快，技術(shù)上已經(jīng)成熟。由于這種泵在排氣口的下面裝有氣體冷卻器，其中一部分被冷卻的氣體通過管道返回泵腔以冷卻轉(zhuǎn)子，從而使壓縮熱得到平衡，所以這種泵可以直排大氣。為了滿足不同極限真空度的要求，這種泵可以串聯(lián)使用，一般前面加一臺氣冷式直排大氣羅茨泵，所達到的極限真空要比前級泵高一個數(shù)量級。這種泵由于在泵腔內(nèi)沒有工作介質(zhì)，實際上也是屬于干泵。這種氣冷式直排大氣羅茨泵及機組已經(jīng)在石油、化工、塑料、汽輪機轉(zhuǎn)子動平衡、航空航天空間模擬等裝置上得到了長期運行的考驗，所以應該在國內(nèi)大力推廣和應用。它可單獨作用，也可作為增壓泵、擴散泵、分子泵等的前級泵，維持泵，鈦泵的預抽泵用。

分子泵分子泵在國外半導體領(lǐng)域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵，尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一，所以分子泵的排氣時間比低溫泵長。為了提高抽速，國外在分子泵的入口側(cè)裝一個-130℃～-150℃的低溫冷板，稱之為低溫分子泵，水蒸氣被低溫板捕獲，其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應用，既提高了生產(chǎn)效率又改善了膜層質(zhì)量。隨著中國半導體工業(yè)、薄膜產(chǎn)業(yè)和科學研究事業(yè)迅速發(fā)展，分子泵應該是中國真空泵制造業(yè)發(fā)展的重點。首先，分子泵要從小到大建立完整系列，以滿足不同場合的需要。真空泵深圳銳誠——專業(yè)做真空設(shè)備檢漏維修，我們?yōu)槟鷰硪韵滦畔⑸钲阡J誠真空技術(shù)有限公司座落于廣東深圳，在北京、浙江設(shè)有售后辦事處。

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深圳銳誠真空技術(shù)有限公司座落于廣東深圳，在北京、浙江設(shè)有售后辦事處。是一家專門從事各種真空應用設(shè)備制造，集研發(fā)、生產(chǎn)和銷售于一體的民營高科技企業(yè)。主營產(chǎn)品：真空設(shè)備，檢漏儀，微水儀，lng抽真空系統(tǒng)，非標真空設(shè)備，真空標準件以及真空設(shè)備的維護保養(yǎng)。真空度單位通常用托（Torr）為單位，國際上取用帕（Pa）作為單位。

真空泵的好壞決定于其機械結(jié)構(gòu)和油的質(zhì)量，使用真空泵時必須把它保護好。如果蒸餾揮發(fā)性較大的有機rong劑時，有機rong劑會被油吸收結(jié)果增加了蒸氣壓，從而降低了抽空效能，如果是酸性氣體，那就會腐蝕油泵，如果是水蒸氣就會使油成乳濁液而抽壞真空泵。因此使用真空泵時必須注意下列幾點：在蒸餾系統(tǒng)和真空泵之間，必須裝有吸收裝置。蒸餾前必須用水泵徹底抽去系統(tǒng)中有機rong劑的蒸氣。如能用水泵抽氣的，則盡量用水泵，如蒸餾物質(zhì)中含有揮發(fā)性物質(zhì)，可先用水泵減壓抽降，然后改用油泵。減壓系統(tǒng)必須保持密不漏氣，所有的橡皮塞的大小和孔道要合適，橡皮管要用真空用的橡皮管。磨口玻璃涂上真空油脂。真空檢漏設(shè)備公司真空檢漏設(shè)備公司干式真空泵主要有下列幾種形式:雙圓裂片式雙圓裂片式設(shè)計和目前最liu行和廣泛應用的羅茨泵非常相似。

真空設(shè)備檢漏

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深圳銳誠真空技術(shù)有限公司座落于廣東深圳，在北京、浙江設(shè)有售后辦事處。是一家專門從事各種真空應用設(shè)備制造，集研發(fā)、生產(chǎn)和銷售于一體的民營高科技企業(yè)。概括地講從大氣到極高真空有一個很大的范圍，至今為止還沒有一種真空系統(tǒng)能覆蓋這個范圍。主營產(chǎn)品：真空設(shè)備，檢漏儀，微水儀，lng抽真空系統(tǒng)，非標真空設(shè)備，真空標準件以及真空設(shè)備的維護保養(yǎng)。

檢漏方法的分類

按被檢容器所處的狀態(tài)可分為兩大類，即加壓檢漏法和真空檢漏法。

(1)加壓檢漏法。在被檢容器內(nèi)充入一定壓力的氣體(稱試驗氣體或者探漏氣體)或液體，當容器上存在漏孔時，氣體(或液體)便從漏孔中逸出，從哪里逸出，逸出量的多少等，就可判斷有無漏孔存在、漏孔位置和大小。屬于此類檢漏方法有:

水壓法:將清潔的水壓入被檢容器中，一般水壓在2~3個大氣壓左右，觀察容器外壁有無水珠出現(xiàn)，根據(jù)水珠出現(xiàn)的位置大小和快慢，來確定漏孔位置和估計漏氣量的大小。

氣壓法:將試驗氣體(空氣或其他氣體)壓入被檢容器，在外面檢查有無氣體逸出，具體方法有:聲響、火焰、氣泡指示法(水槽法、皂膜法);氨檢漏法;鹵素檢漏儀和氨質(zhì)譜儀吸嘴法和放she性同位素法。其中鹵素檢漏法是，金屬鉑在高溫(常用850~950℃)下產(chǎn)生正離子發(fā)射(主要是堿金屬離子)，這種發(fā)射遇到鹵素氣體時急劇增加，依據(jù)這個現(xiàn)象可以制成一種檢漏儀器，即鹵素檢漏儀。為達到最jia配置，選擇真空系統(tǒng)時，應考慮下述各點：首先必須檢查確定每一種工藝要求的真空度。

鉑的離子發(fā)射現(xiàn)象被設(shè)置在一個探頭中，探頭是一支二極電子管結(jié)構(gòu)，加熱絲、陽極及不銹鋼陰極組成一間熱式二極管，后部安裝吸氣風扇，使用時不斷吸進氣體，工作時二極管的陽極由燈絲加熱到850~950℃，陰極對陽極加有250V負電壓并收集正離子，離子電流由電子電路放大后，用儀表指示，考慮到檢漏時無暇觀察儀表指示，儀表還設(shè)有揚聲器，當探

出漏孔時，儀器便發(fā)出聲音。

示漏氣體多用氯的鹵化物，如氟利昂、氯fang、四LV化碳等，其中以氟利昂無du、不可燃、蒸汽壓力高、靈敏度高被廣泛應用。檢漏時，鹵素氣體充于被檢件內(nèi)，用外探頭在外部

尋找漏孔。這種方法可檢出10-9 Pa·m3/s的漏孔，工業(yè)產(chǎn)品一般為10-6~10-7Pa·m3/s。

真空設(shè)備檢漏與維修

深圳銳誠真空技術(shù)有限公司座落于廣東深圳，在北京、浙江設(shè)有售后辦事處。是一家專門從事各種真空應用設(shè)備制造，集研發(fā)、生產(chǎn)和銷售于一體的民營高科技企業(yè)。（轉(zhuǎn)向按防護罩指示方向）⑺對于有冷卻水的真空泵，按規(guī)定接通冷卻水。主營產(chǎn)品：真空設(shè)備，檢漏儀，微水儀，lng抽真空系統(tǒng)，非標真空設(shè)備，真空標準件以及真空設(shè)備的維護保養(yǎng)。

隨著壓力容器出口產(chǎn)品的增加及各制造企業(yè)對產(chǎn)品質(zhì)量的重視，氦質(zhì)譜檢漏方法在我國的壓力容器制造業(yè)中的應用也逐年遞增。氦質(zhì)譜檢漏方法（以下簡稱氦檢）以其高靈敏度和準確性而通常應用于整體防漏等級較高的壓力容器上。氦檢方法基本上可分為用氦氣內(nèi)部加壓法和設(shè)備內(nèi)部抽真空外部施氦這兩種，由于后者需將設(shè)備完全抽成真空狀態(tài),往往會增加試驗用設(shè)備（如高、低壓真空泵、真空閥等）和設(shè)備工裝（如外壓加強圈）而使造價提高，所以該方法通常用于容積小而厚壁的設(shè)備；對于大多數(shù)壓力容器而言，通常優(yōu)先選用前一種方法。1MPa后，重復檢漏儀的檢漏操作，如果隔層滲氣，氣體將進入爐室被檢漏儀檢測。

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