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發(fā)布時(shí)間:2020-12-12 09:08  

淄博齊韻泵業(yè)科技有限公司技術(shù)力量雄厚、制造設(shè)備精良,并有完善的質(zhì)量管理體系,可為用戶設(shè)計(jì)、制造不同類型的真空泵、水泵及設(shè)備機(jī)組。

水環(huán)真空泵的管道在布置時(shí)應(yīng)盡可能布置成直管,盡量減小管道中的附件和盡量減少管道長(zhǎng)度,必需轉(zhuǎn)彎的時(shí)分,彎頭的彎曲半徑應(yīng)該是管道直徑的3~5倍,角度盡可能大于90℃。

水環(huán)真空泵排出管及其管接頭應(yīng)考慮所能接受的壓力。

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 真空度在一定程度上反映出水環(huán)真空泵的性能,我們?cè)谑褂脮r(shí),調(diào)節(jié)真空度的方法有哪些呢?

  1、加精泄壓閥,定向排放有毒氣體到容器的通道。

  2、再簡(jiǎn)單一些,就可以用智能水環(huán)真空泵,泵的上面有按鈕,可以設(shè)定負(fù)壓,還有液晶面板顯示負(fù)壓。

有效稀釋有害氣體的濃度:

  半導(dǎo)體易產(chǎn)生前面所說的、有毒的有害氣體。所以半導(dǎo)體真空泵應(yīng)用中在抽取這些介質(zhì)時(shí)就必須防止它們?cè)谡婵毡脙?nèi)或者排氣過程中發(fā)生一些不可控的反應(yīng)。比如SiH4、PH3、AsH3、B2H6等物質(zhì),在與空氣或氧接觸的時(shí)候,會(huì)引起燃燒甚至;氫氣在空氣中的混合比例達(dá)到一定程度與溫度時(shí)也會(huì)發(fā)生燃燒。這些都取決于該物質(zhì)的量以及與環(huán)境的壓力、溫度的關(guān)系。因此半導(dǎo)體真空泵在抽取這些介質(zhì)時(shí),需要用氮?dú)庵惖亩栊詺怏w,在壓縮前即將這些氣體稀釋到當(dāng)時(shí)條件下的安全范圍?! ?/span>

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安裝水環(huán)式真空泵時(shí)進(jìn)出口沒有安裝止回閥,導(dǎo)致停泵之后水迅速返回,出口壓力下降之后所以低于預(yù)設(shè)的壓力之后全水環(huán)式真空泵就會(huì)再次啟動(dòng)。這種水環(huán)式真空泵頻繁啟動(dòng)的解決辦法就是自吸泵在出口安裝一個(gè)止回閥就能解決問題。

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