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蝕刻機(jī) 全自動(dòng)型蝕刻機(jī):
1、
現(xiàn)如今銷售市場(chǎng)上所看到的全自動(dòng)型有機(jī)化學(xué)蝕刻機(jī)是根據(jù)髙壓自噴及被蝕刻板勻速直線運(yùn)動(dòng)產(chǎn)生持續(xù)連續(xù)入料情況開(kāi)展對(duì)工件浸蝕以提升生產(chǎn)率;
2、增加了自噴與被蝕刻金屬片的合理總面積和蝕刻勻稱程度,不管在蝕刻實(shí)際效果、速度和改進(jìn)作業(yè)者的自然環(huán)境及便捷程度,都好于潑濺式蝕刻;
3、
經(jīng)不斷試驗(yàn)噴涌工作壓力在1-2
Kg/cm2的狀況下被蝕刻工件上所殘余的蝕刻圬漬能被合理清處掉,使蝕刻速度在傳統(tǒng)式蝕刻法上進(jìn)一步提高,因?yàn)樵撐g刻機(jī)液體可循環(huán)系統(tǒng)再造應(yīng)用,該項(xiàng)可大大降低蝕刻成本費(fèi),也可做到環(huán)境保護(hù)生產(chǎn)加工規(guī)定。
電解蝕刻實(shí)際就是電解某種金屬材料,如電解銅、鐵等。具體做法是將要蝕刻的制件做陽(yáng)極,用耐蝕金屬材料做輔助陰極。將陽(yáng)極連接電源的正極,輔助陰極連接電源的負(fù)極。如圖6—7所示。
電解蝕刻工作原理示意圖
當(dāng)電流通過(guò)電極和電解質(zhì)溶液時(shí),在電極的表面及電解質(zhì)溶液中發(fā)生電化學(xué)反應(yīng),利用這種反應(yīng)將要溶解去除的部分金屬去除,達(dá)到金屬腐蝕的目的。根據(jù)法拉第定律,電流的通過(guò)量與金屬的溶解量成正比,也就是被蝕刻的金屬越多,消耗的電量就越大。根據(jù)電化學(xué)原理,電解蝕刻裝置的電源接通后,在陽(yáng)極上發(fā)生氧化反應(yīng)、在輔助陰極上發(fā)生還原反應(yīng)。陽(yáng)極反應(yīng)的結(jié)果是蝕刻部位的金屬被氧化變成水合離子或絡(luò)合離子進(jìn)入電解質(zhì)溶液
水平蝕刻機(jī)的設(shè)計(jì),應(yīng)充份考慮到金屬產(chǎn)品的厚度,是半蝕刻多還是蝕穿的產(chǎn)品多。產(chǎn)品越薄,對(duì)蝕刻的要求也就越高,特別是厚度低于0.2mm以下的產(chǎn)品,由于板材比較薄,雖然是金屬,但還是表現(xiàn)出比較柔軟,容易出來(lái)卡板、變形等現(xiàn)像。因此在規(guī)劃設(shè)備時(shí),要預(yù)估我們重點(diǎn)是做薄片還是厚片,要薄片比較多,那么傳動(dòng)滾輪要比較密一點(diǎn),而且上下滾輪數(shù)量必須對(duì)等。
作為一臺(tái)精密蝕刻的蝕刻機(jī),其核心就是噴淋泵,特別是不銹鋼蝕刻,若噴淋泵的壓力小于2.5kg/cm2,蝕刻液對(duì)不銹鋼表面作用所產(chǎn)生的黑膜將無(wú)法完全清除,導(dǎo)致的結(jié)果就是蝕刻速度慢,半蝕刻蝕刻底紋表面不夠光滑細(xì)膩,出現(xiàn)隨機(jī)粗糙,幾乎沒(méi)有規(guī)律可尋。
每片的厚度大約便是10納。米,現(xiàn)在國(guó)際前進(jìn)的光刻機(jī)是荷蘭的AL公司。小到,10納米。臺(tái)積電買的都是它的光刻機(jī),AL公司實(shí)踐上是美,國(guó)、荷蘭、德國(guó)等多個(gè)技能協(xié)作的效果,由于這方面的,研討難度太大。單個(gè)完畢不了,除了AL,國(guó)際上只需,咱們還在光刻機(jī)上盡力研制,咱們是遭到技能禁運(yùn)的,不能買他進(jìn)的產(chǎn)品,國(guó)內(nèi),上海量產(chǎn)的是90納米的光刻機(jī),技能上有距離。2017年,長(zhǎng)。春光機(jī)所“極紫外光”技能打破。估計(jì)能抵達(dá)22-32納,技能距離縮小了,我信任,不久的將來(lái),咱們的科技人員一定能研制出生,界的光刻機(jī)。
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