在芯片制造領(lǐng)域，光刻機(jī)和蝕刻機(jī)一直是芯片制造領(lǐng)域的關(guān)鍵。在業(yè)界有個(gè)形象的比喻，光刻機(jī)是芯片制造的魂，蝕刻機(jī)是芯片制造的魄，如果要想制造的芯片，這兩個(gè)東西都必須。

而在光刻機(jī)方面，與世界的7nm制程都相去甚遠(yuǎn)。不管三星、英特爾還是臺(tái)積電在芯片制程工藝方面如何去競(jìng)爭(zhēng)，但ASML終究是背后霸主，贏家，因?yàn)樗麄冋l(shuí)都離不開他的EUV光刻機(jī)。而國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)還在路上，目前我國(guó)已經(jīng)能夠使用365納米波長(zhǎng)的光生產(chǎn)22納米工藝的芯片，這在全世界尚無(wú)先例，它也被稱為世界上首臺(tái)分辨力的紫外超分辨光刻裝備。這也意味著國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)可以使用低成本光源，實(shí)現(xiàn)了更高分辨力的光刻。

下料

1、選板材

我司所用薄金屬原材料均為韓國(guó)進(jìn)口65黃銅板材，材料到廠后，由專業(yè)人員進(jìn)行精選，要求所用板材表面光亮，色澤圓潤(rùn)飽滿無(wú)瑕疵，次品板材退回廠家。

2、剪裁及修邊

根據(jù)設(shè)計(jì)好的尺寸，選好的銅材每邊都放幾毫米的余量，做上標(biāo)記點(diǎn)，進(jìn)行剪裁， 剪裁好的銅材四邊往往有細(xì)微毛刺，用銼刀打磨干凈，銼完后用手摸，直至邊緣光滑即可。

3、清除油污

把銅材置于超聲波儀器進(jìn)行清洗，清洗后再用清水沖洗， 再用專業(yè)烘干機(jī)對(duì)銅材進(jìn)行烘干，要求至表面洗干凈無(wú)油漬、不留下水漬。

     其次蝕刻機(jī)的均勻性對(duì)蝕刻產(chǎn)品影響也比較大。蝕刻機(jī)的均勻要可以調(diào)節(jié)，那么就要讓噴淋管能實(shí)現(xiàn)獨(dú)立壓力控制，這樣根據(jù)不同尺寸的產(chǎn)品對(duì)壓力進(jìn)行微調(diào)（大尺寸的板水池效應(yīng)大），從而得到一個(gè)較佳的均勻性。通常設(shè)備精度好不好，就是通過蝕刻均勻性好不好來(lái)衡量的。

      由于蝕刻是一個(gè)放熱 的化學(xué)反應(yīng)，所以完善冷卻系統(tǒng)是很有必要的，而且冷卻管表面積需要符合滿載的時(shí)的放熱量的及時(shí)冷卻，溫度不宜超過2度，超過2度以上還不能冷卻到設(shè)定溫度，說(shuō)明設(shè)計(jì)冷卻盤的面積過小，滿載生產(chǎn)時(shí)會(huì)出現(xiàn)超溫導(dǎo)致必須停止生產(chǎn)。

產(chǎn)品特點(diǎn)

1.激光蝕刻為干式蝕刻，加工制程簡(jiǎn)單，所有加工均由軟件自動(dòng)控制，產(chǎn)品一致性高，良率高達(dá)99%，無(wú)耗材，環(huán)保，可靠穩(wěn)定。

2.CCD相機(jī)自動(dòng)定位，加工精度高。

3.設(shè)備操作簡(jiǎn)單，圖檔更新方便，制程縮短，稼動(dòng)率高。

4.設(shè)備控制軟件能夠?qū)崿F(xiàn)自動(dòng)圖檔分割，移動(dòng)拼接加工，拼接精度可達(dá)±3μm

5.耗電量省，操作人員少，無(wú)污染，生產(chǎn)成本低。