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發(fā)布時(shí)間:2020-08-04 13:30  






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激光干涉儀的類(lèi)型有哪些?

您知道激光干涉儀的類(lèi)型有哪些嗎?

1、單頻激光干涉儀

從激光器發(fā)出的光束,經(jīng)擴(kuò)束準(zhǔn)直后由分光鏡分為兩路,并分別從固定反射鏡和可動(dòng)反射鏡反射回來(lái)會(huì)合在分光鏡上而產(chǎn)生干涉條紋。當(dāng)可動(dòng)反射鏡移動(dòng)時(shí),干涉條紋的光強(qiáng)變化由接受器中的光電轉(zhuǎn)換元件和電子線(xiàn)路等轉(zhuǎn)換為電脈沖信號(hào),經(jīng)放大后輸入可逆計(jì)數(shù)器計(jì)算出總脈沖數(shù),再由電子計(jì)算機(jī)按計(jì)算式式中λ為激光波長(zhǎng)(N 為電脈沖總數(shù)),算出可動(dòng)反射鏡的位移量L。球桿儀是由儀感器、磁性杯、磁性中心架、球節(jié)、磁性工具杯、球桿傳遞器等組成。使用單頻激光干涉儀時(shí),要求周?chē)髿馓幱诜€(wěn)定狀態(tài),各種空氣湍流都會(huì)引起直流電平變化而影響測(cè)量結(jié)果。



雙頻激光干涉儀

雙頻激光干涉儀是在單頻激光干涉儀的基礎(chǔ)上發(fā)展而來(lái)的一種外差式干涉儀。

在激光器上,加上一個(gè)約0.03特斯拉的軸向磁場(chǎng)。由于塞曼分裂效應(yīng)和頻率牽引效應(yīng),激光器產(chǎn)生f1和f2兩個(gè)不同頻率的左旋和右旋圓偏振光。經(jīng)1/4波片后成為兩個(gè)互相垂直的線(xiàn)偏振光,再經(jīng)分光鏡分為兩路。當(dāng)有其他不同角度、位置或不同長(zhǎng)度的測(cè)針按照以上方法校驗(yàn)后,有各擬合球中心點(diǎn)坐標(biāo)差別,就得出各個(gè)測(cè)頭之間的位置關(guān)系,三坐標(biāo)測(cè)量軟件自動(dòng)生成測(cè)頭關(guān)系。一路經(jīng)偏振片1后成為含有頻率為f1-f2的參考光束。


球桿儀

基本介紹“干涉測(cè)量法”是一種利用波的干涉現(xiàn)象(常見(jiàn)的波有光波,無(wú)線(xiàn)電波或聲波)進(jìn)行測(cè)量的一種方法。測(cè)量可能涉及對(duì)波本身的某些特性以及與波相互作用的材料的測(cè)量。此外,“干涉測(cè)量法”用于描述通過(guò)光波研究位移變化的技術(shù)。校準(zhǔn)值比名義值小的原因:在了解測(cè)頭校準(zhǔn)的原理后,我們就很容易解釋測(cè)針校準(zhǔn)值比名義值小的原因了。在精密加工中廣泛采用這一位移干涉測(cè)量法來(lái)校準(zhǔn)和控制機(jī)械臺(tái)運(yùn)動(dòng)。


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