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蒸發(fā)物質(zhì)如金屬、化合物等置于坩堝內(nèi)或掛在熱絲上作為蒸發(fā)源,待鍍工件,如金屬、陶瓷、塑料等基片置于坩堝前方。待系統(tǒng)抽至高真空后,加熱坩堝使其中的物
質(zhì)蒸發(fā)。蒸發(fā)物質(zhì)的原子或分子以冷凝方式沉積在基片表面。薄膜厚度可由數(shù)百埃至數(shù)微米。
膜厚決定于蒸發(fā)源的蒸發(fā)速率和時間(或決定于裝料量),并與源和基片的距離有關(guān)。對于大面積鍍膜,常采用旋轉(zhuǎn)基片或多蒸發(fā)源的方式以保證膜層厚度的均勻性。
鍍膜制造需要部分耗材
1.SIO2顆?;颦h(huán)狀(∮300*∮230*T7.5mm,)需要根據(jù)機臺配置選用
2.TIO2顆粒
3.晶振片F(xiàn)iltex 6MHZ或INFICON6MHZ
4.監(jiān)控片BK7 Φ142*80*1.8mm,需要根據(jù)機臺配置選用
5.銅坩堝,需要根據(jù)機臺配置選用
6.鋁箔厚度0.05mm*寬610mm
7.電子槍燈絲,需要根據(jù)機臺配置選用
8.離子源,需要根據(jù)機臺配置選用耗材
三,設(shè)備日常維修保養(yǎng)部件需要根據(jù)機臺型號選用
四,光學鍍膜機臺品牌分玻璃機和塑膠機配置不一樣,尺寸可以選擇,900mm,1100mm,1300mm,1350mm,
我們采用的是純度在99.99%以上左右的錫或銦及銦錫合金。厚度在30納米以下的錫,連續(xù)性相當?shù)牟睿苋〉勉y白色金屬光澤并具有較大的電阻。相對于傳統(tǒng)鍍膜方式,真空鍍膜應(yīng)用屬于一種干式鍍膜,它的主要方法包括以下幾種:真空蒸鍍其原理是在真空條件下,用蒸發(fā)器加熱帶蒸發(fā)物質(zhì),使其氣化或升華,蒸發(fā)離子流直接射向基片,并在基片上沉積析出固態(tài)薄膜的技術(shù)。銦也是一樣,但銦的銀白色反光率更勝于錫的外觀,因為價格較高,我們采用銦錫合金,這樣既能得到不導(dǎo)電膜又能得到更白更亮的反光金屬效果!鍍銦錫不導(dǎo)電膜都是半透明的,所以我們要求被鍍基材為透明或黑色為佳。因為鍍銦錫都是在250度就開始溶化,所以蒸發(fā)的溫度也相對較低,這樣加熱熔化及蒸發(fā)的電流和時間相對也較低。