結(jié)構(gòu)特點(diǎn)（1)泵總體結(jié)構(gòu)型式真空泵的泵體的布置結(jié)構(gòu)決定了泵的總體結(jié)構(gòu)。立式結(jié)構(gòu)的進(jìn)、排氣口水平設(shè)置，裝配和連接管路都比較方便。但泵的重l心較高，在高速運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)穩(wěn)定性差，故這種型式多用于小泵。臥式泵的進(jìn)氣口在上，排氣口在下。有時(shí)為了真空系統(tǒng)管道安裝連接方便，可將排氣口從水平方向接出，即進(jìn)、排氣方向是相互垂直的。（2）濺射離子泵：泵內(nèi)被電離的氣體吸附在由陰極連續(xù)濺射散出來的吸氣材料上，以實(shí)現(xiàn)抽氣目的的一種真空泵。此時(shí)，排氣口可以從左或右兩個(gè)方向開口，除接排氣管道一端外，另一端堵死或接旁通閥。這種泵結(jié)構(gòu)重l心低，高速運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)穩(wěn)定性好。一般大、中型泵多采用此種結(jié)構(gòu)。

關(guān)于羅茨真空泵的性能特點(diǎn)

1、羅茨真空泵噪音低、風(fēng)機(jī)進(jìn)、排氣口采用螺旋形狀，使進(jìn)、排風(fēng)過程按螺旋線的方向循序切入，避免了舊式羅茨鼓風(fēng)機(jī)排風(fēng)時(shí)瞬間爆發(fā)的脈動(dòng)噪音和振動(dòng)。

2、啟動(dòng)快，耗功少，運(yùn)轉(zhuǎn)維護(hù)費(fèi)用低，抽速大、效l率高，對(duì)被抽氣體中所含的少量水蒸汽和灰塵不敏感

3、性能穩(wěn)定。羅茨鼓風(fēng)機(jī)風(fēng)機(jī)轉(zhuǎn)子、機(jī)殼、墻板、軸等關(guān)鍵零件，均采用先進(jìn)的控加工設(shè)備，使零部件的互換性提高。

4、振動(dòng)小。盡管轉(zhuǎn)子經(jīng)過精密加工，已成平衡狀態(tài)，但仍采用高l精度的動(dòng)平衡設(shè)備進(jìn)行平衡。

5、絕熱效率和容積效l率高，因而節(jié)能。羅茨風(fēng)機(jī)轉(zhuǎn)子采用先進(jìn)的復(fù)合曲線，嚙合更加合理，并且增大了容積效率。

6、采用高l精度、高硬度的同步齒輪，不僅使羅茨真空泵的壽命得到延長(zhǎng)，還有效降低了噪音。

阿爾卡特干泵ADP/ADS系列

   ADP/ADS系列2產(chǎn)品的四種型號(hào)可滿足不同真空要求，環(huán)境清潔的工藝應(yīng)用可選擇LM型，輕型或中型應(yīng)用要求可選擇P型，H型可供苛刻要求的工藝環(huán)境選擇。許多來自半導(dǎo)體工業(yè)的主要制造商已經(jīng)選擇這一產(chǎn)品，這一選擇使他們大大縮短了計(jì)劃外停l工期，從而節(jié)約了運(yùn)行成本，提高了利潤(rùn)率。從動(dòng)轉(zhuǎn)子由電動(dòng)機(jī)端齒輪直接傳過去帶動(dòng)，這樣主動(dòng)轉(zhuǎn)子軸的扭轉(zhuǎn)變形小，則兩個(gè)轉(zhuǎn)子之間的間隙不會(huì)因主動(dòng)軸的扭轉(zhuǎn)變形大而改變，故使轉(zhuǎn)子之間的間隙在運(yùn)轉(zhuǎn)過程中均勻。

特點(diǎn)：

處理能力可靠性高寬交叉槽可容納大量粉塵和顆粒精l確而閉合的溫控系統(tǒng)、高操作溫度以及從進(jìn)口到出口的氣體溫度的線性增長(zhǎng)各級(jí)采取立式抽吸防止吹掃腔中粉塵聚集