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發(fā)布時(shí)間:2020-11-13 10:24  






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廣州潽拓光電——leybold Turbovac 340MCT萊寶懸磁浮分子泵

   渦輪分子泵是獲取高真空的一個(gè)重要設(shè)備,被廣泛應(yīng)用于高真空?qǐng)龊稀O噍^于傳統(tǒng)滾珠及油膜軸承,電磁軸承作為一種新型軸承,因其非接觸、無(wú)摩擦、低功耗、維護(hù)成本低、動(dòng)力學(xué)可控并可對(duì)轉(zhuǎn)子動(dòng)不平衡進(jìn)行主動(dòng)控制等特殊優(yōu)點(diǎn),在工業(yè)應(yīng)用上前景廣闊。對(duì)真空設(shè)備而言,非接觸懸浮是很有吸引力的。電磁軸承應(yīng)用于渦輪分子泵,可實(shí)現(xiàn)分子泵的無(wú)油、無(wú)磨損運(yùn)行,運(yùn)行安靜,振動(dòng)很小,尤其適合半導(dǎo)體工業(yè)等超凈高真空應(yīng)用場(chǎng)合。牽引分子泵 氣體分子與高速運(yùn)動(dòng)的轉(zhuǎn)子相碰撞而獲得動(dòng)量,被驅(qū)送到泵的出口。在此,將介紹2000 L 五自由度磁軸承渦輪分子泵樣機(jī)研究進(jìn)展,重點(diǎn)關(guān)注磁懸浮分子泵試驗(yàn)研究中遇到的各種復(fù)雜振動(dòng)抑制問(wèn)題。這些振動(dòng)問(wèn)題由各種因素所導(dǎo)致,包括泵轉(zhuǎn)子的彎曲模態(tài)振動(dòng),陀螺效應(yīng)造成的轉(zhuǎn)子動(dòng)力學(xué)失穩(wěn),泵葉輪上葉片的顫振及一個(gè)由轉(zhuǎn)子與分子泵永磁電機(jī)共同導(dǎo)致的復(fù)雜振動(dòng)模態(tài)。這些因素同時(shí)出現(xiàn),并且均能對(duì)泵轉(zhuǎn)子的穩(wěn)定性造成破壞,必須在磁軸承控制器設(shè)計(jì)中同時(shí)解決,給控制器的設(shè)計(jì)帶來(lái)大的困難。



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*馬達(dá)線圈阻值測(cè)量,轉(zhuǎn)子定子間隙測(cè)量

*根據(jù)ISO1940/1& ANSI S2.19,調(diào)整測(cè)試動(dòng)平衡至G0.16標(biāo)準(zhǔn)


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