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感應加熱式蒸發(fā)鍍膜
利用高頻電磁場感應加熱,使材料汽化蒸發(fā)在基片表面凝結成膜的技術。
優(yōu)點蒸發(fā)速率大,可比電阻蒸發(fā)源大10倍左右 蒸發(fā)源的溫度穩(wěn)定,不易產生飛濺現(xiàn)象坩堝溫度較低,坩堝材料對膜導污染較少缺點蒸發(fā)裝置必須屏蔽造價高、設備復雜
在真空中,高能粒子轟擊材料表面,使其原子獲得足夠的能量而逸出表面,到達襯底凝結成膜的技術。
與真發(fā)鍍膜相比,濺射鍍膜適用于所有(包括高熔點)材料,具有附著力強、成分可控、易于規(guī)模化生產等優(yōu)點。
但其工作氣壓低于蒸發(fā)鍍膜,因此膜層的含氣量和孔隙率大于蒸發(fā)鍍膜。
PVD技術四個工藝步驟
(1)清洗工件:接通直流電源,氣進行輝光放電為離子,離子轟擊工件表面,工件表層粒子和臟物被轟濺拋出;
(2)鍍料的氣化:即通入交流電后,使鍍料蒸發(fā)氣化。
其缺點是:
1)工藝比傳統(tǒng)單色PVD的更為復雜,流程更為繁雜,生產難度高;
2)生產良率低,大約為65~70%(傳統(tǒng)單色PVD的生產良率一般為85~90%;
3)價格會比傳統(tǒng)單色PVD的高50~60%;
4)因工藝和流程的影響,雙色PVD生產限制較多,受產品結構的影響較大,而傳統(tǒng)單色PVD則幾乎不受限制
現(xiàn)代涂層設備(均勻加熱技術、溫度測量技術、非平衡磁控濺 射技術、輔助陽極技術、中頻電源、脈沖技術) 現(xiàn)代涂層設備主要由真空室、真空獲得部分、真空測量部分、電源供給部分、工藝氣體輸入系統(tǒng)、機械傳動部分、加熱及測溫部件、離子蒸發(fā)或濺射源、水冷系統(tǒng)等部分組成。氮化鉻涂層(CrN)CrN涂層具有良好的抗粘結性,抗腐蝕性,耐磨性。