微孔加工的剖分加工有兩種方法：一種是微小孔加工后再剖切，另一種是在緊密結(jié)合的兩塊光滑平板上沿結(jié)合縫打孔。由于孔徑微小，加工后剖切應(yīng)屬薄板切割。此時(shí)為取得較高切割精度應(yīng)使用激光切割。但由于切割光斑直徑較大(如薄板厚為5mm、要求切割速度為1.5m/min時(shí)，光斑直徑為0.2mm[6])，與所加工的微小孔直徑接近，切割后所剩余的微小孔內(nèi)表面太小，難以進(jìn)行粗糙度測(cè)量；同時(shí)，為了保護(hù)微小孔內(nèi)壁在剖切時(shí)不受飛濺物的影響，通常在剖切前向微小孔內(nèi)先注入蠟等物質(zhì)以保護(hù)孔內(nèi)壁，但此時(shí)保護(hù)物對(duì)微小孔內(nèi)壁粗糙度測(cè)量結(jié)果的影響無法評(píng)估，因此采用這種剖切加工工藝時(shí)需非常慎重，以避免測(cè)量的困難。

  為此，它至少含有激光聚焦裝置和觀察瞄準(zhǔn)裝置兩個(gè)部分。投影系統(tǒng)用來顯示工件背面情況。工作臺(tái)則由人工控制或采用數(shù)控裝置控制，在三坐標(biāo)方向移動(dòng)，方便又準(zhǔn)確地調(diào)整工件位置。工作臺(tái)上加工區(qū)的臺(tái)面一般用玻璃制成，因?yàn)椴煌腹獾慕饘倥_(tái)面會(huì)給檢測(cè)帶來不便，而且臺(tái)面會(huì)在工件被打穿后遭受破壞。工作臺(tái)上方的聚焦物鏡下設(shè)有吸、吹氣裝置，以保持工作表面和聚焦物鏡的清潔。

微孔加工——電火花加工：   電火花加工是另一種微孔加工方式。它的原理是基于工件和工具（正負(fù)極）之間脈沖性火花放電時(shí)的電腐蝕現(xiàn)象來蝕除多余的金屬，以達(dá)到對(duì)零件的尺寸形狀和表面質(zhì)量預(yù)定的加工要求。電火花腐蝕的主要原因是：電火花放電時(shí)通道中瞬時(shí)產(chǎn)生大量的熱，達(dá)到很高的溫度，足以使金屬材料局部融化，氣化而被蝕除掉，形成放電凹坑。電火花加工方法對(duì)于材料的去除是靠放電時(shí)的電熱作用實(shí)現(xiàn)的，材料的可加工性主要取決于材料的導(dǎo)電性及其熱學(xué)性能，而幾乎與材料的力學(xué)性能無關(guān)。這樣就突破了傳統(tǒng)加工對(duì)刀具的限制，可以實(shí)現(xiàn)軟刀具加工硬的工件。更重要的是，由于加工中工具電極和工件不直接接觸，沒有機(jī)械加工宏觀的切削力，因此更適于加工低剛度工件和細(xì)微工件，而且可以得到相當(dāng)高的精密性和性。 電火花加工的突出局限性是：主要用于加工金屬導(dǎo)電材料，而且一般加工速度比較慢。但總的來說，電火花這種需要加工力小，有相對(duì)加工精度保證的加工方法，將會(huì)在以后的微孔加工中受到更多的重視。

技術(shù)是20世紀(jì)80年代末出現(xiàn)的一種先進(jìn)制造技術(shù)[2]。采用快速原型技術(shù)可以對(duì)產(chǎn)品設(shè)計(jì)進(jìn)行快速評(píng)價(jià)和修改，以及時(shí)響應(yīng)市場(chǎng)需求，提高企業(yè)的競(jìng)爭(zhēng)能力。熔融沉積造型作為一種快速原型制造工藝，是指采用熱熔噴頭將處于半流動(dòng)狀態(tài)的材料按CAD分層數(shù)據(jù)控制的路徑逐層擠出，堆積、凝固后形成整個(gè)原型或零件[3]。常見的用于FDm的噴頭口型直徑約為0.2mm，屬微小孔范圍。目前如此微小的孔可以使用電火花、高速鉆削以及激光等方法加工。激光加工工藝近年來發(fā)展較快，現(xiàn)在已經(jīng)可以用激光在紅、藍(lán)寶石上加工直徑為0.3mm、深徑比為50：1的微小孔[4]；也可以利用聚焦極細(xì)的激光束方便地鉆出直徑為0.1～0.3mm的微小孔[5]。考慮到微小孔激光加工工藝的的優(yōu)點(diǎn)及其應(yīng)用日益增加的趨勢(shì)，本文著重研究采用激光加工的微小孔內(nèi)表面粗糙度的測(cè)量。