潔凈室各分部工程的外觀檢查應(yīng)符合下列要求:

一、凈化空調(diào)器凈壓箱、風(fēng)管系統(tǒng)及送、回風(fēng)口無灰塵。

二、潔凈室的內(nèi)墻面、 吊頂表面和地面，應(yīng)光滑、平整，色澤均勻,不起灰塵,地板無靜電現(xiàn)象。

三、送、回風(fēng)口及各類末端裝置、各類管道、照明及動(dòng)力線配管、以及設(shè)備等，穿越潔凈室時(shí)，穿越的密封處理應(yīng)可靠嚴(yán)密。

四、潔凈室內(nèi)各類配電盤、 柜和進(jìn)入潔凈室的電氣管線管口應(yīng)可靠密封。

五、各種刷涂保溫 工程應(yīng)符合有關(guān)規(guī)定。

電子潔凈室污染因素：

一、電磁噪聲

通過大電流的氧化爐等設(shè)備的電纜和反復(fù)控制通斷的電磁開關(guān)，高頻振蕩等產(chǎn)生的電磁噪聲，影響電子束掃描設(shè)備的掃描精度。其影響程度與發(fā)生源的距離成反比。

二、振動(dòng)

設(shè)備內(nèi)的真空泵電機(jī)工作時(shí)會(huì)把振動(dòng)經(jīng)地板傳遞到微細(xì)加工設(shè)備和顯微鏡等精密設(shè)備儀器上，影響它們的工作精度。

應(yīng)在振源和怕受振動(dòng)的設(shè)備下安裝空氣的彈簧減震器，以達(dá)到衰減振動(dòng)的目的。

三、生銹

酸用通風(fēng)罩局部排風(fēng)量不足時(shí)，酸霧氣擴(kuò)散于室內(nèi)，腐蝕室內(nèi)設(shè)備的金屬部分，就是不銹鋼露在含CI氣的空氣中，也會(huì)受腐蝕生銹。

處理酸的有效的方法是采用密閉通風(fēng)罩，保證足夠的局部排風(fēng)量。

因?yàn)閷⒃O(shè)立相近的工程項(xiàng)目生產(chǎn)車間，清理潔凈車間供電和排水管道的方式，立即危害潔凈車間的氣體清理，因而在標(biāo)準(zhǔn)中管路務(wù)必先放到凈化車間，現(xiàn)階段凈化車間管路的合理布局是在技術(shù)性中，間層和技術(shù)性上設(shè)定好多個(gè)干管，針對(duì)左右內(nèi)層凈化車間，關(guān)鍵的給污水管道關(guān)鍵坐落于中低層，凈化車間，是一個(gè)恒溫恒濕設(shè)備的生產(chǎn)車間，必須各種各樣管路。