熱風(fēng)循環(huán)烘箱類型與送風(fēng)方式

熱風(fēng)循環(huán)烘箱一般有加熱管，有循環(huán)風(fēng)機(jī)的烘箱都可稱為熱風(fēng)循環(huán)烘箱，因?yàn)椴还芎嫦涫裁唇Y(jié)構(gòu)，風(fēng)向水平還是垂直，歸根到底都是熱風(fēng)在里面循環(huán)，所以都可通稱為熱風(fēng)循環(huán)烘箱，如電熱鼓風(fēng)烘箱，對開門高溫滅菌烘箱等。但是一般行業(yè)中所稱熱風(fēng)循環(huán)烘箱大多數(shù)還是特指如上圖所示的烘箱，其它烘箱都是由上圖烘箱演變而來，比如有了高溫滅菌的要求，風(fēng)機(jī)改成風(fēng)冷規(guī)范化的環(huán)風(fēng)機(jī)，前后開門，風(fēng)道也作出了改變，就變成對開門高溫滅菌烘箱。分別是單門單車，兩門兩車，兩門四車，三門六車，四門八車。熱風(fēng)循環(huán)烘箱空氣循環(huán)系統(tǒng)采用風(fēng)機(jī)循環(huán)送風(fēng)方式，風(fēng)循環(huán)均勻高l效。風(fēng)源由循環(huán)送風(fēng)電機(jī)（采用無觸點(diǎn)開關(guān)）帶動風(fēng)輪經(jīng)由加熱器，而將熱風(fēng)送出，再經(jīng)由風(fēng)道 至烘箱內(nèi)室，再將使用后的空氣吸入風(fēng)道成為風(fēng)源再度循環(huán)，加熱使用。確保室內(nèi)溫度均勻性。當(dāng)因開關(guān)門動作引起溫度值發(fā)生擺動時，送風(fēng)循環(huán)系統(tǒng)迅速恢復(fù)操作狀態(tài)，直至達(dá)到設(shè)定溫度值。

無塵烘箱日保養(yǎng)

1.打掃設(shè)備表面及內(nèi)腔灰塵，保持機(jī)器干凈、衛(wèi)生。

2.檢查電流表是否正常，如有異樣，通知維修工檢修。

3.檢查風(fēng)機(jī)運(yùn)轉(zhuǎn)是否正常,有無聲音異常，如有請立即關(guān)閉機(jī)器并通知我司售后。

4.突然停電，要把加熱開關(guān)關(guān)閉，防止來電時自動啟動。

無塵烘箱月保養(yǎng)

1.維修工檢查電流是否正常。

2.檢查通風(fēng)口是否堵塞,并清理積塵。

3.風(fēng)機(jī)運(yùn)轉(zhuǎn)是否正常。

4.檢查溫控器是否準(zhǔn)確,如不準(zhǔn)確,請聯(lián)系我司售后人員進(jìn)行校正指導(dǎo)。

5.檢查發(fā)熱管有無損壞,線路是否老化。

6.檢查延l時器是否準(zhǔn)確,誤差是否允許。

工業(yè)烘箱的常見故障分析

（1）循環(huán)風(fēng)機(jī)不運(yùn)轉(zhuǎn)原因；1、電流超高，斷路器開路；2、電機(jī)斷路；3、保險絲熔斷循環(huán)風(fēng)機(jī)

不運(yùn)轉(zhuǎn)解決辦法：1、斷路器復(fù)位2、更換電機(jī)3、更換保險絲

（2）加熱器不工作原因：1、電流超高，熱繼電器跳閘；2、電熱管燒壞；3、高溫線燒壞加熱器

不工作解決辦法：1、熱繼電器復(fù)位；2、更換電熱管；3、更換高溫線；

（3）抽風(fēng)機(jī)不運(yùn)轉(zhuǎn)原因：1、電流超高，斷路器開路；2、電機(jī)斷路；3、保險絲熔斷

抽風(fēng)機(jī)不運(yùn)轉(zhuǎn)解決辦法：1、斷路器復(fù)位；2、更換電機(jī)；3、更換保險絲；

（4）照明燈不亮原因:  1、保險絲熔斷；2、燈泡燒壞；

照明燈不亮解決辦法：1、更換保險絲；2、更換燈泡；

（5）烤房系統(tǒng)不能啟動原因：1、加熱管接地；2、電壓表沒有電壓顯示；

烤房系統(tǒng)不能啟動解決辦法：1、更換電熱管；2、檢查外部電源；

熱風(fēng)循環(huán)烘箱在光刻中的應(yīng)用是如何的？

1、在硅片上涂覆光刻膠{ */}。粘合劑或硅片放置在惰性氣體中進(jìn)行熱處理。該工藝旨在提高光刻膠與硅片之間的附著力，防止顯影時間的延長，防止?jié)窀g過程。使用粘合劑的防腐劑。首先，采用真空法從膠粘機(jī)上的硅天花板上抽油，將吳定量的粘性光刻膠涂在幽l靈表面，然后時間設(shè)定涂層的速度和旋轉(zhuǎn)速度。在離心力作用下，光刻膠表面均勻分散，去除多余的光刻膠，獲得吳定厚度的光刻膠膜。膠厚控制膠的粘度和橡膠的速度，預(yù)干燥由于溶劑緩蝕劑作用，在80℃的硅片上，防腐劑是干的。微波爐是吳種惰性氣體，干燥時間通常在15-30分鐘之間的光刻膠清除器。

2、掩碼對齊

由于集成電路的制造過程是吳層的過程，所以每個層的位置不能移動。熱風(fēng)循環(huán)烘箱吳般有加熱管，有循環(huán)風(fēng)機(jī)的烘箱都可稱為熱風(fēng)循環(huán)烘箱，因?yàn)椴还芎嫦涫裁唇Y(jié)構(gòu)，風(fēng)向水平還是垂直，歸根到底都是熱風(fēng)在里面循環(huán)，所以都可通稱為熱風(fēng)循環(huán)烘箱，如電熱鼓風(fēng)烘箱，對開門高溫滅菌烘箱等。掩模和晶片可以對齊在晶片上。