對于平行流潔凈室《習慣上稱層流潔凈室），由于主要靠氣流的“活塞打擠壓作用排除行染，所以截面上的速度就是非常重要的指標。45m/s．但人們也都了解到這樣大速度所需要的通風量是極大的，為了節(jié)能，也都在探求降低速一風速的可行性。過去都參考美國20gB標準，采用0.45m/s．但人們也都了解到這樣大速度所需要的通風量是極大的，為了節(jié)能，也都在探求降低速一風速的可行性。在我國，《空氣潔凈技術(shù)措施》和(潔凈廠房設(shè)計規(guī)范）都是這樣規(guī)定的垂直平行流（層流）潔凈室≥0.25m/s水平平行流（層流）潔凈室≥0.35 m/s

復(fù)合式為將亂流式及層流式予以復(fù)合或并用，可提供局部超潔凈之空氣。在這些紊流中，由于風速較低，空氣稀釋程度較小，從而使得污染濃度較高。(1)潔凈隧道(Clean Tunnel)：以HEPA或ULPA過濾器將制程區(qū)域或工作區(qū)域100%覆蓋使?jié)崈舳鹊燃壧岣咧?0級以上，可節(jié)省安裝運轉(zhuǎn)費用。此型式需將作業(yè)人員之工作區(qū)與產(chǎn)品和機器維修予以隔離，以避免機器維修時影響工作及品質(zhì)。ULSI制程大都采用此種型式。

福州同盛凈化彩鋼板有限公司。有的工程中由于加濕的帶水問題沒有處理好，結(jié)果后面的中效過濾器甚至效過濾器都被攜帶的水打濕了。類似于生物安全類實驗室就不可以做回風系統(tǒng)，或者說要以全排式潔凈室的做法來施工。對于干蒸汽加濕器也要注意蒸汽管和凝結(jié)水管的坡度和坡向問題，要使凝結(jié)水迅速地排到空調(diào)器外。若加濕器設(shè)在空調(diào)器的風機段內(nèi)，還應(yīng)采取措施避免凝結(jié)水滴到電機上，造成電機短路斷電。福州凈化室。